판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 141000-0079 JET #9201723

BROOKS/PRI AUTOMATION 141000-0079 JET Wafer Handler는 빠르고 정밀한 웨이퍼 전송 및 크기 조정을 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 모양과 크기의 와퍼를 빠르고 정확하게 배치, 회전, 측정할 수 있는 고급 (advanced), 다차원 (multi-dimensional) 동작 제어 장치가 장착되어 있습니다. 제트 웨이퍼 핸들러 (Jet Wafer Handler) 는 고정밀 로딩 머신, 액세스 암, 고효율 진공 운송 헤드 및 정밀 진동 어셈블리로 구성됩니다. 로딩 툴은 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형과 크기를 에셋에 빠르고 정확하게 로드할 수 있습니다. 액세스 암 (Access Arm) 에는 다중 선형 가이드 (Linear Guide) 와 모델의 정확한 세밀한 제어 및 웨이퍼 조작을 위해 조정 가능한 다양한 모션이 장착되어 있습니다. 진공 운송 헤드 (vacuum transport head) 에는 고속 진공 운송 허브가 장착되어 있어 웨이퍼를 매우 효율적으로 전송하고 배치할 수 있습니다. 마지막으로, 진동 어셈블리는 처리 중 웨이퍼의 정확하고 일관된 회전을 제공합니다. 이 장비는 최대 8.25 인치 (직경 8.25 인치) 의 파퍼를 초당 최대 30 회전 및 전송 속도로 효과적으로 제어 및 전송할 수 있으며, 유휴 시간이 최소화되어 높은 처리량을 제공합니다. 또한, 강력한 통합 비전 시스템은 종횡비 및 모서리 측정에 대해 0.1mm 이상의 정확도를 허용합니다. 통합 터치스크린 인터페이스를 사용하면 장치를 빠르고, 쉽게 프로그래밍하고, 모니터링할 수 있으며, 진공 수준, 이동 속도, 간격 폭 등의 매개변수를 제어할 수 있습니다. 제트 웨이퍼 핸들러 (Jet Wafer Handler) 는 클래스 1000 클린 룸 (Clean Room) 호환 환경으로 둘러싸여 있으며, 웨이퍼에 오염 물질의 영향을 최소화하고 프로세스 안정성을 최대화하도록 설계되었습니다. 기계에는 안전 연동 도구 (Safety Interlock Tool) 가 추가되어 자산의 의도하지 않은 움직임에 대한 보호 (Safeguard) 를 제공합니다. 모델의 모든 구성 요소는 철저한 테스트를 거쳐 신뢰할 수 있는 처리 성능을 보장합니다. 요약하면, BROOKS 141000-0079 JET 웨이퍼 핸들러 (JET Wafer Handler) 는 광범위한 모양과 크기의 웨이퍼를 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 전송 및 크기를 제공하도록 설계된 강력한 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 시스템의 통합 모션 제어 장치, 진공 운송 헤드, 진동 어셈블리, 안전 연동 기계, 시력 도구는 높은 수준의 정확도, 속도, 안전 및 신뢰성을 보장합니다.