판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 124804 #9111110

BROOKS / PRI AUTOMATION 124804
ID: 9111110
Robot P/N: 0612-11177.
BROOKS/PRI AUTOMATION 124804 웨이퍼 핸들러는 최대 200mm 크기의 실리콘 웨이퍼를 로드하고 언로드하기위한 자동 도구입니다. 이 머신은 웨이퍼 (wafer) 전송 프로세스 속도를 높여줍니다. 먼저 웨이퍼를 버퍼로 로드한 다음 공구 모듈 (tool module) 과 호스트 도구 (host tool) 로 전송합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 통합된 구성 요소, 컨트롤러 하드웨어, 소프트웨어, 독립형 모듈을 조합하여 로딩 및 언로드 프로세스를 용이하게 하는 안정성이 뛰어난 시스템입니다. BROOKS 124804 웨이퍼 핸들러는 사용자 선택 가능 드라이브, grabber station, wafer loft 및 여러 출력 포트를 갖춘 모듈식 독 (dock) 형식으로, 웨이퍼 전송 작업을 빠르고 효과적으로 완료할 수 있습니다. 이 기계는 스테퍼 모터, 공압 시스템, 클로즈드 루프 제어 하드웨어 (closed-loop control hardware) 및 소프트웨어의 조합을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 이동 및 처리하고 버퍼에 안전하게 로드합니다. 마이크로프로세서 제어 서보 드라이브 (microprocessor-controlled servo drive) 를 사용하면 버퍼에서 공구 모듈로 꺼내는 동안 웨이퍼를 정확하게 처리할 수 있습니다. PRI AUTOMATION 124804에는 직관적이고 그래픽 연산자 인터페이스 (Graphical Operator Interface) 가 있어 전체 프로세스를 신속하게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 프로세스 모니터링, 로깅, 시각적 지원 (Visual AID) 기능을 통합하여 웨이퍼 정렬 및 전송 상태를 확인하고 시스템의 성능을 일관되게 보장합니다. 또한, 항공 관리 를 돕기 위하여, 반송파 추출 "블록 '이" 웨이퍼 핸들러' 설계 에 도입 되었다. 즉, 버퍼에서 언로드된 후 캐리어를 중지하여 미립자 오염을 자동으로 방지합니다. 124804 웨이퍼 핸들러는 교육, 전체 문서, 설치 지원, 24/7 기술 지원 등 포괄적인 서비스 패키지에서 지원됩니다. 이 패키지는 사용자가 문제 없는 (problem-free) 작업을 즐기고 발생할 수 있는 모든 기술적 문제를 신속하게 해결할 수 있도록 도와줍니다. 또한, 이 기계는 광범위한 안전 및 EMI 표준을 충족하도록 인증되었으며, 안전한 작동과 고품질 웨이퍼 (wafer) 전송 프로세스를 보장합니다.
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