판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 121668 #9192514

BROOKS/PRI AUTOMATION 121668은 실험실, 클린 룸 및 반도체 처리 시설에 사용하도록 설계된 안정성이 높고 유지 보수가 적은 웨이퍼 처리 장비입니다. Full-Wafer 그리핑 및 전송, Wafer 정렬 및 매핑, Crucible Loading/Unloading 기능을 제공하는 프런트엔드 자동화입니다. BROOKS/PRI BROOKS 121668은 평면 및 3D 웨이퍼 처리 작업을 모두 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 3 축 동작 제어와 동력 Z축 로드/언로드 사이클로 구성된 강력한 기계식 설계가 특징입니다. 이 시스템에는 정밀 진공 밀봉 장치 (precision vacuum-sealing mechanism) 와 기계식 진공 밀봉 검증 장치 (mechanical vacuum seal verification unit) 를 통해 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 운반하는 정밀 웨이퍼 조작기가 장착되어 있습니다. 강력한 공기 흡입 잡기 방법을 사용하여 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이 시스템에는 이더넷, USB 및 RS-232 연결을 포함한 다양한 인터페이스 옵션도 있습니다. 또한, 웨이퍼 정렬을 최적화하고 웨이퍼 두께를 결정하는 데 사용되는 매우 정교한 비전/카메라 (vision/camera) 도구를 제공합니다. 이 비전 (vision) 과 카메라 (camera) 에셋을 사용하면 처리 중인 웨이퍼의 유형과 크기에 따라 모델이 그립력을 조정할 수 있습니다. PRI AUTOMATION/PRI PRI AUTOMATION 121668 자동화는 최대의 안정성과 내구성을 위해 설계되었으며, 문제가 발생하기 전에 문제를 강조하기 위한 통합 자가 진단 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 원격 액세스 기능을 제공하여 웹 기반 인터페이스 (Web Based Interface) 를 통해 장치 구성을 모니터링, 문제 해결, 수정할 수 있습니다. 또한 Windows XP 및 상위 PC 운영 체제와 모두 호환됩니다. 요컨대, BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI 121668 Automation은 반도체 처리 및 기타 실험실 환경에 이상적인 웨이퍼 처리 장치입니다. 다양한 호환성, 높은 신뢰성, 견고한 역학, 종합적인 모션 제어, 고급 자동화 (automation) 기능을 제공하여 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 및 처리에 적합합니다.