판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151 웨이퍼 핸들러는 실험실 및 기타 청소실 환경에서 반도체 웨이퍼의 처리, 처리 및 운송에 사용되는 최고급 장비 장비입니다. 이 시스템은 박막 증착에서 석판화 (lithography), 도량형 (metrology) 에 이르기까지 다양한 반도체 제작 응용 분야에서 정확한 웨이퍼 처리 작업을 제공하며, 와퍼를 오염으로부터 보호하기 위해 가벼운 실험실 인클로저를 제공합니다. 웨이퍼 핸들러는 주 장치, 오토 로더 포트, 웨이퍼 컨베이어, 진공 로봇, 조작기 암 배열, 90 ° 각도 리프트 및 웨이퍼 트레이, 공기 액추에이터 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 주 단위 는 "로봇 '과 기타 구성 요소 들 을 수용 하여 밀폐 되어 있으며, 일관성 있는 온도 와 습도 환경 을 유지 하는, 회수 할 수 있는 전이실 을 만든다. 자동 로더 포트는 웨이퍼 입력 및 언로드 프로세스를 효율적이고 정확하게 관리합니다. 입자 생성 및 오염을 최소화하도록 설계된 완전 기계적 단위입니다. 컨베이어는 챔버를 통해 적재/언로드하기 위해 웨이퍼, 카세트, 트레이를 움직이며, 카세트 (cassettes) 및/또는 트레이 (tray) 간의 원활한 이동 및 웨이퍼 처리가 가능합니다. 조작기 암은 웨이퍼 전송 중에 로봇 모듈 내부에서 프로그래밍 된 경로를 따릅니다. 무기에는 "웨이퍼 (wafer) '와" 안전 센서 (safety sensor)' 와의 우발적 접촉을 방지하기 위한 "가드 '가 내장되어 있다. 90 ° 각도 리프트 (90 ° angle lift) 는 용지함 레벨에서 로봇 레벨로의 웨이퍼를 기계적으로 전송하는 드라이브, 리프트 및 회전자 어셈블리로 구성됩니다. "와퍼 트레이 '는" 로봇' 에서 "카세트 '," 트레이' 또는 "웨이퍼 '를 가져와" 트레이' 층 으로 운반 하는 스마트 장치 이다. 공기 작동기 및 제어 시스템 (air actuator and control systems) 은 자동화 시퀀스 제어 (automation sequence control) 를 제공하며, 각 팔 좌표 이동에 대한 개별 액추에이터 시스템을 최고 수준의 정확도로 미리 결정된 위치로 제공합니다. 브룩스 (BROOKS) 105151 웨이퍼 핸들러는 실험실의 청결성을 손상시키지 않고 웨이퍼 운송에서 높은 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 고급 자동화 머신 (Advanced Automation Machine) 은 안정적인 웨이퍼 처리 기능을 제공하는 반면, 내부 챔버 (Internal Chamber) 는 매우 깨끗하고 통제 된 환경을 제공하여 오염으로부터 웨이퍼를 보호하고 일관된 작동 온도를 유지하는 데 도움이됩니다.