판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0950-01 #9390214
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ID: 9390214
Robot
002-9400-12 Series 8 Controllers
100902 Pre-aligner
TT1ENR2-1-TVS-ES-BROOKS6 Pendant
Missing outside case.
BROOKS/PRI AUTOMATION 017-0950-01은 현대 전자 시스템에서 컴포넌트로 사용되는 반도체 웨이퍼를 전송하고 조립하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 "카세트 '에서" 플레이트' 수송 에 이르는 "웨이퍼 '의 적재 와 하역 을 촉진 하고, 개별" 웨이퍼' 를 전체 "웨이퍼 '에 조립 하여 추가 처리 를 한다. 이 장치는 컨베이어 (conveyor) 장비를 포함하는 견고한 프레임과 웨이퍼를 이동 및 조립하기 위해 함께 작동하는 여러 가지 다른 구성 요소로 구성됩니다. "웨이퍼 핸들러 '의 기본 과정 은" 카세트' 혹은 수송 "플레이트 '에서 기계 의 본체 로" 웨이퍼' 를 내리기 시작 한다. 고속 모터 구동 컨베이어 (High-speed motor-driven conveyor) 는 각 웨이퍼를 자동으로 정렬되고 어셈블러 헤드에 로드되는 조작기 헤드 (Manipulator head) 까지 전달합니다. 그런 다음 어셈블러 헤드 (assembler head) 는 웨이퍼를 회전시키고 정렬하고, 로봇 암 (robotic arm) 을 작동시켜 웨이퍼를 어셈블러 프레임의 최종 위치로 이동합니다. 그런 다음, 어셈블러는 웨이퍼를 색인화하여 이미 웨이퍼 (wafer) 프레임에 구성된 상호 연결에 맞는지 확인합니다. 이 시스템은 여러 가지 정밀도, 정확도 수준으로 작업을 수행할 수 있습니다. 프로세스의 각 단계에서 특수 센서는 지름 (diameter), 플랫 (flatness), 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 다양한 웨이퍼 매개변수를 측정하여 세트 사양의 편차가 감지되면 수정 동작을 수행할 수 있습니다. 그런 다음, "웨이퍼 '가 제자리 에 박혀 있고, 조작기 팔 에 있는 자동화 된 머리 가" 웨이퍼' 를 조립기 안 으로 정확 하게 안내 한다. BROOKS/Pri 웨이퍼 핸들러의 효율적인 자동화를 통해 생산 프로세스가 대폭 개선됩니다. 이 단위는 인간의 상호 작용을 요구하지 않으며, 인간의 오류의 가능성을 크게 줄입니다. 시스템 내에서 다양한 매개변수를 조정하여 정확도 (Accurity) 와 수율 (Yield) 을 최적화하여 고품질 웨이퍼 생산과 관련된 비용을 줄일 수 있습니다. 또한, 다른 자동 장비 (Automated Equipment) 및 컴퓨터와 손쉽게 통합할 수 있으며, 수작업 (Manual Operation) 에 의존하지 않고도 추가 자동화 및 신속한 생산 속도를 제공합니다.
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