판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0277-01 #293653288

BROOKS/PRI AUTOMATION 017-0277-01은 운영 자동화 애플리케이션을 위한 신뢰성 있고 효율적이며 기능이 풍부한 웨이퍼 핸들러입니다. 그 특징과 능력은 실험실 연구에서 대용량 제조 환경에 이르기까지 여러 산업용 (industrial uses) 에 적합합니다. 이 장치는 고유 한 축 회전 (axial rotation) 또는 "소용돌이 치는 (swirling)" 기능으로 웨이퍼를 전송하고 청소하며 기존 제품군에 쉽게 통합됩니다. 이 핸들러는 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤과 견고한 알루미늄 강화 광섬유 하우징으로 설계되었습니다. 인체 공학적 핸들 바 (Handlebar) 디자인과 직관적이고 사용이 간편한 인터페이스를 통해 쉽게 조작하고 운영할 수 있습니다. 조정 가능한 정렬 프레임으로, 핸들러는 최대 8.9cm (3.5 ") 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 표본의 핸드로드 및 언로드를위한 탑로드, 더블 스트룽 컨베이어 시스템이 특징입니다. 가동을 더욱 단순화하기 위해 핸들러 (Handler) 는 자동으로 자가 클리닝 사이클 (self-cleaning cycle) 을 특징으로하여 챔버 내부를 청소하여 오염과 웨이퍼 손상을 방지합니다. 또한 수동 클리닝 (manual cleaning) 및 자동화된 클리닝 주기 (automated cleaning cycle) 를 허용합니다. 이 주기는 환경 요구 사항과 사용 중인 기판 유형에 따라 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 업스트림 (upstream) 및 다운스트림 (downstream) 머신에 연결하기 위한 포트도 포함되어 있으며, 다양한 제품 라인과 호환되며, 작동 온도 및 습도 측면에서 다재다능합니다. 또한 이 포트를 사용하여 내장 (BIST) 메모리에 액세스할 수 있습니다. 즉, 저장된 프로그램 설정뿐만 아니라 프로세스 데이터를 쉽게 전송할 수 있습니다. 프로세스 반복 가능성과 정확성을 보장하기 위해 BROOKS 웨이퍼 핸들러는 다양한 진단 시스템을 통합합니다. 여기에는 높은 정확도의 열전대 인코더, 구성 가능한 경보, 정밀 교정 충격 카운터, 오정렬 식별을위한 광학 모니터링 시스템이 포함됩니다. 이 장비는 범위를 벗어난 프로세스 매개변수에 대해 가청 (audible) 및 시각적 (visual) 경보를 제공하므로 적시에 조정하고 수정할 수 있습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION/PRI 웨이퍼 핸들러 (PRI AUTOMATION/PRI wafer handler) 는 모든 고급 자동화 애플리케이션에 필수적인 구성 요소로, 강력하고 효율적인 패키지에서 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다.