판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 013077-089-20 #9095775

BROOKS/PRI AUTOMATION 013077-089-20은 웨이퍼 기판의 로드, 언로드 및 전송을 자동화하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 업계에서 일반적으로 테스트 및 로드 작업을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 핸들러는 200mm 및 300mm 직경의 단일 웨이퍼와 1 웨이퍼/다이 구성에서 최대 8 개의 웨이퍼를 가진 여러 웨이퍼 제품을 처리 할 수 있습니다. 사용자 인터페이스 컨트롤러 (User Interface Controller) 를 사용하여 쉽게 설치하고 작동할 수 있습니다. 오버헤드 셔터 (overhead shutter) 와 프레임 (frame) 은 장치에 먼지가 없는 환경을 제공하여 장치를 입자나 진동으로부터 보호하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 프레임은 핸들러에게 로딩 또는 언로드를 위해 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있는 기능을 제공합니다. 핸들러에는 전면 로드 및 언로드, 측면 로드 및 언로드, 로드 및 언로드를위한 웨이퍼 감지, 웨이퍼 클램프, 웨이퍼 이스케이프 등 다양한 웨이퍼 액세스 기술이 있습니다. 또한 웨이퍼 전송 속도가 최대 25 인치입니다. 또한, 웨이퍼 정렬 시스템 (wafer alignment system) 을 갖추고 있으며 웨이퍼 전송 시 정밀 정렬을 보장하기 위해 레이저 빔 센서를 사용합니다. 핸들러에는 고급 CLPS (Closed Loop Positioning System) 가 장착되어 있어 웨이퍼 조작과 실시간 최적화가 가능합니다. 또한 로드 및 언로드 중에 웨이퍼를 부드럽고 진동하지 않고 이동할 수있는 ABS (Air Bearing System) 가 있습니다. BROOKS 013077-089-20 은 Wafer 기판 자동 로드, 언로드 및 전송을 위한 사용하기 쉽고 안정적이며 경제적인 솔루션입니다. 이 제품은 다양한 작업을 수행할 수 있으며, 정확한 웨이퍼 (wafer) 조작과 원활한 진동 (vibration-free) 이동을 제공하는 고급 기술 기능을 갖추고 있습니다. 결과적으로, 이 웨이퍼 핸들러는 다양한 반도체 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.