판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13 #9111117

BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13은 산업 반도체 산업에 사용되는 기계화 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최고 정확도와 신뢰성으로 웨이퍼를 이동하고 이동하도록 설계되었습니다. 직경이 최대 200mm인 기판을 처리 할 수 있습니다. Automation BROOKS 003-9010-13은 2 축 서보 드라이브 장비와 고정식 중력 공급 웨이퍼 슈트로 구성됩니다. 2축 서보 드라이브 시스템은 폐쇄 루프 디지털 서보 장치 (closed loop digital servo unit) 에 의해 구동되어 정확하고 빠른 위치 제어 기능을 제공합니다. 서보 모터 (servo motor) 는 사다리꼴 또는 사다리꼴 동작 프로파일을 특징으로하며 정확도에 영향을 미치지 않고 최고 속도로 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 드라이브 머신에는 인터럽트 (interrupt) 도구와 프로그래밍 가능한 전류 한계 (current limit) 가 장착되어 있어 섬세한 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있습니다. 정적 웨이퍼 슈트 (static wafer chute) 는 최대 4 개의 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 핸들러에게 전달하도록 설계되었습니다. 각 웨이퍼에 대한 개별 로드/언로드 포트가 특징이며, 배치 로드와 연속 피드 (continuous feed) 간에 전환할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 슈트 (wafer chute) 는 웨이퍼 편향을 줄이기 위해 설계되었으며 진동 및 소음을 최소화하도록 설계되었습니다. PRI AUTOMATION 003-9010-13에는 통합 ESD 보호 자산, 밀봉 광학 인코더, 온보드, 디지털 데이터 획득, 제어 모델 등 신뢰성 및 정확성을 보장하는 데 도움이 되는 여러 가지 추가 기능이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 웨이퍼를 높은 정확도와 안정성으로 처리할 수 있습니다 (영문). Automation 003-9010-13은 산업 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 특징은 까다로운 정확도 요구 사항을 충족할 수 있는 고급 웨이퍼 처리 (advanced wafer handling) 솔루션을 필요로 하는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 고급 기능과 사용 편의성을 갖춘 BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13은 고품질, 신뢰성 있는 웨이퍼 처리기가 필요한 사람들에게 적합한 선택입니다.