판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-9400-04 #9267824

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-9400-04는 매우 효율적이고 고성능 웨이퍼 처리기입니다. 이 자동 로봇 시스템은 웨이퍼 처리, 전송, 테스트, 검사 등의 반도체 제조 공정에서 정밀 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 브룩스 002-9400-04 (BROOKS 002-9400-04) 는 여러 개의 조인트로 구성된 로봇 암으로 구성되어 있어 최대 유연성과 이동 범위를 제공하며, 통합 제어판의 명령으로 제어되는 로봇의 움직임이 있습니다. 로봇에는 정확한 모션 제어 및 모니터링을 위해 센서와 컴퓨터 보조 제어 시스템 (computer-aided control system) 이 장착되어 있습니다. 로봇에는 또한 사양 외 (out-of-specification) 또는 결함 웨이퍼를 보고, 분석하고, 인식하기위한 비전 시스템이 포함되어 있습니다. 비전 시스템 (예: 결함있는 칩, 깨진 접촉, 표면 불완전성) 을 감지할 수 있으며, 비파괴 테스트를 위해 웨이퍼 지형을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. "로봇 '암 은 매우 다양 한" 웨이퍼' 크기, 무게 및 모양 을 처리 하도록 설계 되었다. 특수 부착물을 사용하여 최대 2 개의 웨이퍼를 동시에 공급할 수 있습니다. 또한 행당 최대 4 개의 웨이퍼 (wafer) 를 선택하고 배치 할 수 있으며, 그리퍼 메커니즘에서 광범위한 공차를 허용합니다. 로봇은 최대 4 개의 다른 어셈블리, 픽 앤 플레이스 스테이션에서 웨이퍼를 처리하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. "로봇 '의 전반적 인 설계 는 신뢰성 과 정확성 을 위해 만들어졌으며, 그 결과 일관성 있고 반복 할 수 있는 결과 를 얻게 된다. 높은 해상도의 인코더 (encoder) 와 정밀 모터 (motor) 를 통해 로봇의 움직임을 단단히 제어하여 고속 동작 및 정확한 위치를 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 견고한 프레임으로 제작되었으며, 높은 진동 및 먼지 환경을 견딜 수 있으며, 이는 전기 및 기계 부품을 보호하는 데 도움이됩니다. PRI AUTOMATION 002-9400-04 는 탁월한 성능과 안정성을 제공할 뿐 아니라 유지 관리도 용이합니다. 모든 "로봇 '의 구성 요소 는 모듈식 인데, 필요 하다면 쉽게 제거 하고 대치 할 수 있다. 또한 사용자 친화적이고 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 로봇은 기존 운영 프로세스 제어 시스템 (Production Process Control System) 과 동기화하여 수작업 없이 자동화된 설비를 제공합니다. 002-9400-04는 탁월한 성능, 유연성 및 정확성을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 안정성이 높고 효율적인 설계로, 정밀 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 선택입니다.