판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-9400-04 #9153698

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-9400-04 웨이퍼 핸들러는 프로세스 영역 최적화, 높은 처리량, 반복 가능한 샘플 이동을 가능하게 하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 저장, 전송 및 적재 할 수 있습니다. 독보적인 설계를 통해 다운타임을 최소화하고, 생산성을 높이고, 설치 비용을 절감하여 운영 라인을 최적화할 수 있습니다. 이 장치는 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 를 기반으로 기존 공장 레이아웃에 유연하게 구성하고 통합할 수 있습니다. 기판 프로세스 라인 (substrate process line) 근처에 배치하여 핸들러를 최적으로 배치하고 유지 관리 기능을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에는 여러 개의 독립 웨이퍼 소스가 있으며, 이 소스는 시스템 용량을 늘리기 위해 쌓일 수 있습니다. 또한 각 소스는 표준 프레임 (standard frame) 이나 로봇 암 (robotics arm) 으로 구성하여 여러 프로세스 영역에 대한 웨이퍼 전송, 처리 또는 모니터링을 가능하게 할 수 있습니다. 이 장치는 안전 연결 도구 (Safety Interlock Tool) 와 무단 액세스를 방지하는 이동식 (Removable) 커버를 포함한 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 전력 분배 보드, 광 인터페이스 허브 (optical interface hub), 숫자 디스플레이 (numeric display) 및 우수한 사용자 인터페이스 기능을 제공하는 공압 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 완전히 프로그래밍 가능한 제어 장비를 갖추고 있으며, 기존 프로덕션 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이더넷 (Ethernet) 을 통해 호스트 컴퓨터에 접속하여 시스템과 네트워크 간의 통신을 활성화할 수 있습니다. 또한 데이터 수집 및 시각화를 위해 BROOKS/PRI의 ImpledFax와 같은 특수 소프트웨어에 연결할 수 있는 옵션을 제공합니다 (예: BROOKS/PRI). 전반적으로 BROOKS 002-9400-04 는 신뢰할 수 있고, 유연하며, 사용자 친화적인 웨이퍼 처리 시스템으로, 비용을 절감하고 운영 라인의 효율성을 높여줍니다. 따라서 수동 웨이퍼 로딩 (manual wafer loading) 및 처리 (handling) 가 필요 없으며 정확한 샘플 이동이 가능합니다. 이 다용도 장치는 자동 웨이퍼 처리가 필요한 모든 어플리케이션에 적합합니다.