판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-9400-04 #293592206
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BROOKS/PRI AUTOMATION 002-9400-04 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 처리 및 저장하는 데 사용되는 자동 도구입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 통합 장비로, 복잡한 센서, 소프트웨어 및 기계적 구성 요소 시스템을 사용하여 작동합니다. 이 장치에는 2 개의 독립적으로 작동하는 무기가 있으며, 이를 처리할 개별 웨이퍼로 적재 할 수 있습니다. 각 암에는 한 번에 최대 2 개의 웨이퍼 프리젠테이션이 포함될 수 있으며, 다양한 특수 도구와 액세서리 (accessory) 가 장착되어 있습니다. 이러 한 특수 한 도구 와 부속품 을 사용 하여 기계 는 "웨이퍼 '를 정확 하고 안정적 으로 측정, 전송, 저장 할 수 있다. 이 웨이퍼 측정은 현미경, 선형 인코더, 레이저 간섭계 (laser interferometer) 등 다양한 장치를 사용하여 수행됩니다. 이러한 장치는 서피스 거칠기 (surface roughness), 간격 (spacing), 무게 중심 (Center of gravity) 값과 같은 웨이퍼의 서피스 높이 및 기타 물리적 특성을 측정합니다. 그러면 이 세부 데이터를 수집하여 설정한 매개변수와 비교하고, 결과를 사용자 인터페이스 (user interface) 에 표시합니다. 공구가 완전하게 작동하는 경우, 자세한 분석과 보고서 (Report) 를 Plant 담당자에게 제공 할 수도 있습니다. 에셋에는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 있어 자동화된 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 모델을 쉽게 조작할 수 있고, 다양한 테스트/측정 결과를 모니터링할 수 있습니다. 이 장비에는 안전 장치 (Safety Feature) 도 포함되어 있어 와퍼가 시스템의 다른 구성 요소와 접촉하지 않도록 합니다. 또한 브룩스 (BROOKS) 장치에는 제어 모듈 (Control Module) 과 드라이브 유닛 (Drive Unit) 이 포함되어 있습니다. 이 도구 는 또한 "에너지 '효율적 이 되도록 설계 되었으며, 매우 다양 한" 에너지' 원 으로 작동 할 수 있다. 자산의 다양한 구성 요소는 데이터 버스 (Data Bus) 를 통해 연결되므로 운영 안정성 및 데이터 무결성 (Data Integrity) 이 향상됩니다. 요약하면, BROOKS 002-9400-04 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 측정 및 저장할 수있는 고급 자동 도구입니다. 특화된 툴과 소프트웨어, 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 모든 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 모델은 에너지 효율적이며, 웨이퍼 처리를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
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