판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-52 #9254399

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-52는 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 솔루션으로, 웨이퍼 제조 공정에서 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 멀티 스택 웨이퍼 처리, 다목적 웨이퍼 로딩, 웨이퍼 레벨 테스트 등 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이동식 암 어셈블리, 웨이퍼 (wafer) 전송 스테이션, 웨이퍼 방향 장치 및 전자 모션 컨트롤러로 구성된 로봇 장비입니다. 이동식 암 (moveable arm) 어셈블리는 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 운반하고 웨이퍼 방향 (wafer orientation) 과 움직임을 정확하게 제어하는 역할을 합니다. 이것은 모터, 조인트 및 위치 센서의 조합으로 수행됩니다. 웨이퍼 전송 스테이션 (wafer transfer station) 은 웨이퍼를 프로세스 단계로 전송하는 데 사용되며, 웨이퍼 방향 장치 (wafer orientation device) 는 스테이션에 들어가기 전에 웨이퍼를 올바르게 정렬하는 데 사용됩니다. 이러한 구성 요소의 조합은 정확하고 안정적인 웨이퍼 이동을 제공하기 위해 함께 작동합니다. 전자 동작 "컨트롤러 '는 움직 일 수 있는 암 (arm) 조립 에 필요 한 명령 을 제공 하고" 웨이퍼' 의 정밀 이동 을 가능 케 하기 때문 에 "시스템 '의 핵심 이다. 이 컨트롤러는 HMI (HumanMachine Interface) 또는 PLC (Programmable Logic Controller) 와 같은 여러 입력 장치에 의해 구동됩니다. 이러한 컨트롤러는 장치 네트워크 (unit network) 에 연결될 수 있으므로, 시스템의 원격 모니터링 및 제어가 가능합니다. 또한, 다양한 센서 및 프로세스 소프트웨어를 사용하여 BROOKS 002-7391-52 도구를 구성하여 응용 프로그램에 대한 맞춤형 솔루션을 제공할 수 있습니다. 예를 들어, 웨이퍼 위치를 추적하고, 압력을 측정하고, 오염을 감지하고, 웨이퍼의 정밀 위치를 제공하는 데 사용할 수 있습니다. 따라서 여러 운영 실행에서 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 프로세스 변형을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION 002-7391-52 자산은 다재다능하고 신뢰성이 뛰어난 웨이퍼 처리 솔루션으로, 처리량과 정확도를 높이고 다운타임과 비용을 절감합니다. 기존 시스템에 손쉽게 통합할 수 있으며, 실시간 데이터/분석 기능을 통해 전체 프로세스를 간소화할 수 있습니다. 따라서 대용량 웨이퍼 기반 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.