판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9111413

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-08 웨이퍼 핸들러는 고성능 반도체 생산을 위해 설계된 고정밀 자동화 장비입니다. 대용량, 고수율, 고가용성 생산 환경에서 자동화된 프로세스 장비로 반도체 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 완전히 자동화된 설계로, 프로세스 장비에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 장비에는 자동 웨이퍼 리프트 (automated wafer lift) 와 픽업을위한 별도의 로봇 암 (robot arm) 이 포함되어 있으며, 프로세스 장비와 핸들러 처리 스테이션 사이에 웨이퍼를 전송합니다. 로봇 암은 면도날 (razor-sharp edge) 을 특징으로하며 손상시키지 않고 다량의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. BROOKS 002-7391-08 웨이퍼 핸들러는 클린 룸 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 클래스 10 (Class 10) 및 클래스 100 (Class 100) 요구 사항에 적합하므로 광범위한 생산 시설에 적합합니다. 이 시스템에는 조절 가능한 공기 필터 장치 (air filter unit) 가 장착되어 있어 작동 중 최고 수준의 청결을 보장합니다. 웨이퍼 핸들러에는 전원 장애 방지 (power failure protection), 자가 모니터링 (self-monitoring) 등 여러 가지 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전원 장애가 발생할 경우, 기계는 자동으로 종료되고 프로세스 장비에 대한 잠재적 손상을 방지합니다 (영문). 자가 모니터링 (self-monitoring) 기능을 사용하면 도구가 모든 장애 조건에 대해 모니터링될 수 있으며, 문제가 발생할 수 있는 모든 이상 동작에 대해 운영자에게 경고 (Alert) 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION 002-7391-08 웨이퍼 핸들러는 대용량 생산 환경을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고성능 디자인 (HPD) 과 기능은 최적의 웨이퍼 처리 기능을 보장하는 반면, 고급 안전 기능은 최고 품질의 반도체 생산에 이상적인 선택입니다.