판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-05 #9111115
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BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7090-05는 고급 웨이퍼 핸들러로, 뛰어난 정밀도, 빠른 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 처리량이 많은 웨이퍼 핸들러로, 여러 재료의 전체 처리 시간을 최적화합니다. 이 핸들러는 더 큰 유연성과 반복 성을 제공하는 Reactive Single Wafer Loadlock을 기반으로합니다. 웨이퍼 카세트에서 카세트로의 전송은 타의 추종을 불허합니다. 더 큰 웨이퍼 크기 (wafer size) 기능을 통해 처리 시간이 단축되고 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 통합 머신 비전 시스템 (Integrated Machine Vision System) 은 모든 웨이퍼 크기에 대해 빠르고 정확하게 웨이퍼 정렬을 달성 할 수 있습니다. PMOS 웨이퍼 정렬기 (PMOS wafer aligner) 기능은 더 정확한 웨이퍼 방향을 가능하게 하며, 견고하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, BROOKS 002-7090-05는 컨베이어 스타일의 로봇을 제공하여 핸들러에 수동으로 웨이퍼를 제거, 재배치, 로드할 필요가 없으므로 전반적인 프로세스를 더욱 효율적으로 수행할 수 있습니다. 통합 엔드 오브 암 (End-of-arm) 공구는 정확성을 손상시키지 않고 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 이것은 더 섬세한 웨이퍼에 특히 중요합니다. PRI AUTOMATION 002-7090-05에는 여러 조임 모듈, 공정 온도 동기화 및 동작 제어 축 선택기와 같은 여러 고급 제어 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 더 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. 고급 데이터 로깅 기능을 통해 모든 프로세스 데이터를 정확하게 기록하고 쉽게 검색할 수 있습니다 (영문). 002-7090-05는 뛰어난 성능과 정확도를 제공하는 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 시스템 설계 (Advanced System Design) 및 통합 (Integrated) 기능을 통해 다양한 유형의 웨이퍼를 빠르고 일관되게 처리할 수 있습니다. 유지 보수 요구 사항이 낮고 처리량이 많은 애플리케이션 (Wafer Processing Application) 에 이상적인 솔루션입니다.
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