판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-04 #9111114
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BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7090-04는 반도체 산업을위한 완전 자동 웨이퍼 핸들러 솔루션입니다. 자동 픽 앤 플레이스 (pick and place) 기술이 적용된 단일 열 프로세서를 사용하여 많은 수의 웨이퍼를 고속 처리 및 테스트할 수 있습니다. 이 핸들러에는 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업을 최적화하고 최대 운영자 안전 (operator safety) 을 제공하도록 설계된 다양한 헤드와 첨부가 장착되어 있습니다. BROOKS 002-7090-04는 최대 8m (200mm) 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 수동/동적 픽 앤 플레이스 (manual/dynamic pick and place) 작업을 지원하며 두 개의 조작기, 하나는 자동 웨이퍼 로드 및 언로드용, 다른 하나는 수동 웨이퍼 처리를 지원합니다. 내장형 서보 제어 픽 앤 플레이스 (Integrated, Servo-controlled pick and place) 메커니즘은 웨이퍼를 한 로봇에서 다른 로봇으로, 프로세싱 베드에서 복구 트레이로 이동하여 일관된 성능과 최대 정밀도를 보장합니다. 웨이퍼 핸들러에는 프로그래밍 가능한 자동화 제어를 위한 통합 PLC (programmable logic controller) 와 원격 모니터링 및 제어를 위한 내장 통신 기능이 장착되어 있습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스에는 간단한 작동을 위해 4.3 색 터치 스크린 디스플레이가 있습니다. 또한 웹 기반 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 보고 기능 (Reporting Feature) 을 통해 사용자가 온라인으로 웨이퍼를 추적하고 성능을 모니터링할 수 있습니다. 자동 처리 기능 외에도 PRI AUTOMATION 002-7090-04에는 로봇 웨이퍼 정렬 시스템도 포함되어 있습니다. 이 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 은 프로세싱 베드에 배치하기 전에 자동으로 중심을 맞추고 웨이퍼의 방향을 정하도록 설계되었습니다. "레이저 '기반 시스템은 즉시 웨이퍼 크기를 측정하고 최적화된 처리를 위해 위치를 자동으로 조정합니다. 자동 웨이퍼 핸들러 (Automated Wafer Handler) 는 대용량 생산을 위해 설계되었으며 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리 성능을 제공합니다. 이 장치에는 내부 안전 스위치 (Internal Safety Switch) 도 포함되어 있습니다. 이 스위치는 안전하고 효율적인 작동을 위해 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 빠른 웨이퍼 교환 및 처리를위한 엔드 오브 암 (End-of-arm) 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 안전하고 일관되며 효율적인 운영 환경을 보장합니다.
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