판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-3900-05 #9111420

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-3900-05는 반도체 패키징 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 프로세스 자동화, 수동 로딩 및 웨이퍼 언로드 (unloading) 관련 비용 절감, 생산성 향상, 효율성 극대화에 사용됩니다. 핸들러에는 웨이퍼 전송 스테이션 (Wafer Transfer Station) 이 웨이퍼 당 1.8 초의 전체 사이클 속도로 작동 할 수있는 4 축 서보 제어 로봇 암이 포함되어 있습니다. 로봇 암 (Robot Arm) 에는 웨이퍼의 정밀 처리를 위해 인체 공학적으로 설계된 엔드 이펙터 (End-effector) 와 웨이퍼 매핑을 효과적으로 조작하기 위해 단단한 영역에 도달 할 수있는 기능이 장착되어 있습니다. 또한 시력 정확도 (vision accuracy) 가 장착되어 있어 웨이퍼 위치를 정확하게 인식하고 스테이션에 웨이퍼 (wafer) 를 지정하여 부하 시간을 줄입니다. 로봇 암에는 웨이퍼의 존재를 감지하는 통합 하단 웨이퍼 센서 (bottom-end wafer sensor) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 8 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며 무연 부품으로 제조됩니다. 또한 에폭시 코팅 된 알루미늄 베이스, 스타 휠 잼 내성 기술 및 비 금속 진공 세그먼트 (non-metallic vacuum segment) 를 사용하여 클린 룸 요구 사항을 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러는 RJ-45 기반 컨트롤러로 제어되며, RJ-45 기반 컨트롤러는 완벽한 프로그래밍 가능한 플랫폼이며 편리한 프로그래밍 및 모니터링을 위해 강력한 사용자 친화적 인 소프트웨어를 사용합니다. 또한 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 통해 연산자가 명령을 시작할 수 있고, 웨이퍼 정보를 보고, 경고를 모니터링하고, 필요에 따라 작업을 수정할 수 있습니다. 이 핸들러에는 적절한 작동 및 가동 시간 (uptime) 을 보장하는 진단 장비가 내장된 인터페이스 패널이 장착되어 있습니다. 키보드, 디스플레이, LED 표시등 패널은 시스템 정보와 경고 표시에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 컨트롤러 보드에는 고속 12 비트 A/D 컨버터가 장착되어 있으며 최대 80 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. BROOKS 002-3900-05 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최신의 반도체 패키징 환경에서 뛰어난 성능과 안정성을 제공하는, 고급적이고 신뢰할 수 있는 장치입니다. 사용이 간편한 프로그래밍 기능, 종합적인 진단 시스템 (Diagnostic Machine), 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 높은 생산성과 효율성을 보장하므로 모든 제조 작업에 귀중한 자산입니다.