판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 001-7500-02 #293585882

BROOKS/PRI AUTOMATION 001-7500-02는 반도체 제조 공정에서 자동으로 효율적인 웨이퍼 전송 및 운송을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 다른 카세트 (cassette) 와 동일한 카세트 (cassette) 내에서 와퍼 (wafer) 의 전송 및 로드/언로드 관리를 위해 여러 프로그램을 실행할 수 있는 고급 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 카세트 대 카세트 또는 카세트 대 FOUP (Front Opening Unified Pod) 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 장치는 와퍼를 정확하게 이동하고 배치하도록 설계된 로봇의 XYZ 구성으로 구성됩니다. 컨트롤러는 고급 프로그래밍 언어를 실행하며, 사용자는 웨이퍼 로드, 전송, 언로드, 정렬 등 다양한 작업을 로봇에 할당할 수 있습니다. 수동 또는 자동 모션 제어를 사용하여 이러한 작업을 구현할 수 있습니다. "로봇 '은 빠르고 정확 하게 명령 을 실행 할 수 있으며, 그 결과 고효율 의" 반도체' 생산 공정 이 발생 한다. 머신은 또한 배치의 품질을 보장하기 위해 웨이퍼를 로드 (load) 하고 언로드 (unload) 하기 전에 웨이퍼를 식별하고 검사하는 데 사용되는 고속 비전 (high-speed vision) 도구와 함께 제공됩니다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 표면에서 발생할 수있는 약간의 결함 또는 불규칙성까지 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 로보 틱 웨이퍼 처리 시스템 (robotic wafer handling system) 에서 일반적인 문제 인 웨이퍼 오정렬 (wafer misalignment) 을 감지 할 수 있습니다. 안전성을 고려해 보면, 각종 안전 제한 (Safety Limit) 을 구현하여 인력의 안전을 보장하는 보안 (Security) 기능을 갖추고 있다. 예 를 들어, "프로그램 '은" 로봇' 장치 의 모든 운동 을 정지 시키기 위해, 즉 인원 이나 장비 의 손상 을 방지 하고, 기계 의 신속 하고 안전 한 재설정 을 허용 하기 위하여, 한계 를 초과 하는 경우 에 "프로그램 '될 수 있다. BROOKS 001-7500-02 는 고도의 강력한 성능과 정확성을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 툴입니다. 이 자산은 효율적이고 능률적인 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 프로세스를 제공하여 효율성과 생산성을 높일 수 있습니다.