판매용 중고 BROOKS Magnatran 7 #293604921

BROOKS Magnatran 7 (BROOKS Magnatran 7) 은 단일 및 이중 스택 웨이퍼 구성의 높은 처리량, 최고 효율성 및 안정적인 처리를 제공하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 자동화 및 유연성을 통해 연구 개발 (Research and Development) 에서 대용량 생산에 이르는 환경에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 너비의 웨이퍼가 C 형 플랜트 구성으로 처리되는 웨이퍼 처리 영역이 있습니다. 웨이퍼는 상단 또는 하단 지원으로 처리되며, 크기는 직경 150mm ~ 300mm 사이입니다. 웨이퍼는 2 개의 클램프 앤 롤 (Clamp and Roll) 시스템을 사용하여 단단히 고정되며, 수직 트랙을 위아래로 운반합니다. 웨이퍼는 수동으로 또는 로봇 로더/언로더를 통해 배치되고 제거됩니다. 작동 중일 때, 이 장치는 스핀 코팅, 애싱, 에지 비드 밀봉, 베이킹 및 건조와 같은 여러 프로세스 단계를 수행합니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 고속 및 정확한 위치 정확도를 특징으로하는 독점 서보 모터에 의해 구동됩니다. 이렇게 하면 기계 가 "웨이퍼 '" 트랙' 을 신속 히 가속 하고 감속 시켜 "웨이퍼 '가 항상 정확 한" 타이밍' 과 속도 로 움직 이도록 할 수 있다. 게다가, 기계 는 정지 할 필요 가 있을 때 마다 "웨이퍼 트랙 '의 위치 를 정확 히 탐지 하고 조정 하는 능력 을 가지고 있어서, 고속 운행 에 적합 하다. 또한 BROOKS 브룩스 마그나 트란 7 (BROOKS BROOKS Magnatran 7) 은 공구 이벤트 모니터링, 매개변수 설정 등 다양한 고급 제어 기능과 프로세스를 제공하여 재생성 가능한 프로세스 성능 및 생산성을 보장합니다. 또한, 재료가 손실되기 전에 wafer mis-processing을 경고하는 오류 복구 메시지 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 종합적인 결함 감지 자산 (fault detection asset) 과 신체적 사고 가능성을 줄이는 데 도움이 되는 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 전반적인 Magnatran 7은 쉽게 구성할 수 있는 마이크로 프로세싱 환경을 통해 안정적이고, 정확하고, 높은 처리량을 제공합니다. 연구 개발 (Research and Development) 에서 대량 생산 (high-volume production) 에 이르기까지 광범위한 웨이퍼 처리 애플리케이션에 이상적입니다.