판매용 중고 BROOKS Fixload #9255153

BROOKS Fixload는 부품 처리 및 운송 작업을 간소화하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 업계를 위해 만들어진 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 웨이퍼 로딩, 매핑, 정렬 응용 프로그램을 지원하는 다양한 기능과 모듈로 사전 프로그래밍됩니다. 다양한 그립 및 부품 보유 옵션을 통해 픽스로드 (Fixload) 핸들러를 사용하여 웨이퍼, 레티클, 평면 패널 및 기타 기판을 정확하고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 수동 로딩의 경우 BROOKS Fixload 핸들러에는 2축 선형 부품 조작 장비가 제공됩니다. 부품 로드 및 언로드를 간소화하고 부품 보류 (Part Holding) 옵션으로 안전하게 전송합니다. 수동 언로드를 위해 Fixload에는 핀 그래버, 패스 스루 포켓, 평면 패널 픽오프 옵션 및 진공 작동 웨이퍼 포켓이 있습니다. 핀 그래버 (Pin Grabber) 는 웨이퍼를 안전하게 분리하도록 설계되었으며, 평면 패널 픽오프 (Flat Panel Pick-off) 옵션은 온도 감지 기판 처리에 사용됩니다. 열적/기계적 스트레스에 민감한 어플리케이션을 위해 BROOKS 픽스로드 (BROOKS Fixload) 에는 웨이퍼와 기판을 빠르고 정확하게 처리하도록 설계된 열 스테이션 (옵션) 이 포함되어 있습니다. 이 스테이션에는 자체 포함 난방 장치, 빠른 온도 반응 및 난방 온도의 정확한 제어가 있습니다. Fixload에는 웨이퍼 매퍼, 2 차원 또는 3 차원 분할 챔버, 진공 척 및 가스 노즐과 같은 여러 웨이퍼 전송 모듈도 제공됩니다. 정확성을 보장하기 위해 BROOKS Fixload 핸들러에는 고급 CCD 비전 머신이 포함되어 있습니다. 이 도구는 실시간 자동 초점, 웨이퍼 위치 인식, 유연한 확대 설정 및 그림 입력 기능을 제공합니다. 또한 정확한 크기와 방향을 가진 웨이퍼 (wafer) 의 존재를 스스로 인식하고 웨이퍼 동작을 조정할 수 있습니다. CCD 비전 (CCD Vision) 자산은 왜곡이 적은 고해상도 이미지를 제공하여 반전된 어플리케이션에 적합합니다. Fixload 웨이퍼 핸들러 (Fixload wafer handler) 에는 다양한 웨이퍼 로딩, 정렬 및 매핑 작업을 쉽게 제어할 수 있는 직관적인 터치 스크린 디스플레이가 장착되어 있습니다. 이 디스플레이에는 모든 작업을 완벽하게 추적할 수 있는 통합 로깅 (logging) 모델도 함께 제공됩니다. 또한, BROOKS 픽스로드 (Fixload) 핸들러에는 안전한 부품 전송을 보장하는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 조절 가능한 속도 제한, 비상 정지 스위치 및 안전 영역 제한이 포함됩니다.