판매용 중고 BROOKS FAB Express #127117

ID: 127117
EFEM with wafer handlers, can handle 8" and 12" simultaneously, (2) load ports Wafer Presenter/Handling Robot with 2 vacuum-holding wafer arms Robot Track (Y axis) Series 8 Robot Controller Robot Teach Pendant BROOKS2-PTN30R2-1-ES (Qty 2) BOLTS Load Port Modules BOLTS Load Port Module InLigner Wafer Aligner (Qty 2) Devicenet Interfaces CleanFlow Filter Fan Unit 3000FFU Keyence Light Curtain SL-C16H Kramer Tools Firewire Repeater/HUB Arista Industrial Touchscreen LCD Monitor Keytronic keyboard with trackball.
BROOKS FAB Express 웨이퍼 핸들러는 고성능 웨이퍼 처리 요구를 포괄하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 고급 로봇 자동화를 갖추고 있으며 장치당 최대 40 개의 카세트에 2 "및 4" 웨이퍼를 안전하게, 그리고 4 개의 컨테이너에 최대 80 개의 웨이퍼를 수송하도록 설계되었습니다. 독보적인 디자인과 고속 웨이퍼 처리 기능을 갖춘 FAB 익스프레스 (FAB Express) 는 높은 용량의 제품을 최고의 효율성과 정확도로 처리할 수 있는 이상적인 솔루션입니다. 이 장비는 다음을 포함하여 다양한 고급 기능을 자랑합니다. 빠른 웨이퍼 암 가속 및 감속 기능이있는 멀티 축 로봇 암, 다이렉트 드라이브 모터 및 자동화 기능이있는 드라이브, 정밀한 정렬 및 정렬을위한 고급 컬러 비전 시스템, 먼지 없는 웨이퍼 전송, 사용자 친화적 인 구성 및 모니터링 기능이있는 직관적인 컨트롤 유닛, 짧은 주기 시간. 이 기계에는 로드 및 언로드가 용이한 여러 액세스 포인트가 포함되어 있으며, 리프트 도구는 최대 8 "(200mm) 웨이퍼를 관리 할 수 있습니다. 또한 BROOKS FAB Express는 사용자 친화적이며 작동이 안전합니다. 사용자 친화적 인 제어 인터페이스를 통해 웨이퍼 (wafer) 처리 기능을 쉽게 프로그래밍하고 구성할 수 있으며, 비전 (vision) 에셋은 시각적 피드백을 제공합니다. 최대한의 안전성을 보장하기 위해 모델은 긴급 종료 (Emergency Shut-off) 기능과 잠긴 캐스터 (Locked Caster) 를 포함한 능동적이고 패시브 안전 측정을 제공합니다. 전반적으로 FAB Express는 많은 양의 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 첨단 "로봇 '자동화를 통해 매우 빠르고 정확하며, 정교한 제어 장비와 직관적인 설계를 통해 사용자 친화적이고 안전하게 작동할 수 있습니다. 이 시스템은 손쉽게 로드 및 언로드, 더스트 프리 웨이퍼 (dust free wafer) 전송, 자동화 기능이 있는 다이렉트 드라이브 모터 및 드라이브를 위한 여러 액세스 포인트를 지원합니다. 기능과 안정성이 결합된 BROOKS FAB Express는 고성능 웨이퍼 (Wafer) 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다.
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