판매용 중고 BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638

BROOKS AUTOMATION VTR-5 Wafer Handler는 웨이퍼 처리 장비 내에서 이동 및 조작 된 웨이퍼에 사용되는 장치입니다. 분당 최대 800 이동 (cadence) 의 단일 또는 양면 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. VTR-5는 카세트, 원자로, 마스크 정렬기, 오븐 및 이온 임플랜터 사이에 웨이퍼를 안전하게 운송합니다. 더 빠른 속도로 웨이퍼 전달을 위해 와퍼 입력/출력 셔틀 (옵션) 이 있습니다. BROOKS AUTOMATION VTR-5에는 단면 및 양면 웨이퍼 처리 작업을 모두 지원하는 모듈 식 브리지 캐리지 어셈블리가 있습니다. 통합이 용이한 웨이퍼 셔틀 설계로 로봇 로드/언로드 및 빠른 웨이퍼 전송이 가능합니다. 제어 전자 장치는 푸시 버튼 사용자 인터페이스 (push-button user interface) 와 LED/LCD (LED/LCD) 를 사용하여 특정 구성 요소가 전송 모드이거나 오류 모드에 있을 때를 나타냅니다. VTR-5는 웨이퍼 보호 및 정확한 웨이퍼 조작을 보장하는 2 단계 설계입니다. 첫 번째 단계는 입자 오염을 방지하기 위해 웨이퍼 포드 (wafer pod) 를 감싸는 보풀이없는 천을 포함합니다. 두 번째 단계는 민감한 웨이퍼 포지셔닝 장치 (wafer-positioning devaratus) 를 사용하여 웨이퍼를 클램핑, 포지셔닝 및 회전할 수 있습니다. 이 민감한 작업을 사용하면 정렬 레지스터 마커를 기준으로 정확한 웨이퍼 배치가 가능합니다. 웨이퍼 처리 메커니즘은 정확한 웨이퍼 처리를 위해 3 링크 프로파일로 구성됩니다. 이 3 링크 프로파일은 스테퍼 모터에 의해 구동되며 50 ~ 300mm 범위의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION VTR-5는 또한 큰 웨이퍼 로딩 및 언로드 영역을 갖추고 있어 고장 및 오염을 줄입니다. 웨이퍼 핸들러는 MAPC (Modular Automated Protocol Carrier) 프로그램에 의해 제어됩니다. 이 프로그램은 사용자 정의 레시피를 저장하고, 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 웨이퍼 처리 작업을 신속하게 프로그래밍하고 제어합니다. 다양한 장비와의 통신은 RS-485 프로토콜을 통해 활성화됩니다. 이 시스템은 Allen-Bradley PLC에 의해 구동되며 3 상 전원에 안전하게 연결됩니다. VTR-5 웨이퍼 핸들러 (VTR-5 Wafer Handler) 는 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 웨이퍼를 조작하는 데 매우 안정적이고 유연한 도구입니다. 자동화된 작동은 파퍼 이동의 정확성, 정확성, 제어를 보장하는 한편, 입자 오염 및 물리적 손상 가능성을 줄이는 데 도움이 됩니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 실험실, 반도체, 집적 회로 제조 회사 등 조직의 웨이퍼 처리 작업을 위한 탁월한 선택입니다.