판매용 중고 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 #9013390

BROOKS AUTOMATION VacuTran 5는 반도체 제조에 사용되는 고급 자동 웨이퍼 핸들러입니다. VacuTran 5에는 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 여러 프로세스 특정 옵션이 포함되어 있습니다. 유연한 플랫폼을 기반으로 한 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5는 웨이퍼 전송, 웨이퍼 정렬, 현장 웨이퍼 처리, 웨이퍼 재활용 등 다양한 반도체 애플리케이션에 적합합니다. VacuTran 5는 두 가지 주요 구성 요소 (전송 메커니즘이 포함된 기본 장치) 와 소프트웨어와 사용자 인터페이스가 있는 컨트롤러 모듈 (Controller Module) 으로 구성됩니다. 기본 장치는 견고한 프레임, 전동 수송 레일 (motorized transport rails) 및 웨이퍼 수송기를 수용하는 슬라이딩 서랍으로 구성됩니다. 수송기는 레일에 바퀴로 안내되며, 전기 모터에 의해 밀리고 당깁니다. 전동식 드라이브 (Motorized Drive) 시스템은 와퍼의 다양한 크기와 모양에 관계없이 최적화된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 컨트롤러 모듈에는 소프트웨어 엔진과 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 소프트웨어는 웨이퍼의 수송 및 조작을 용이하게하도록 설계되었습니다. 자동 설정 프로세스 (Wafer 크기 및 모양 분석, 최상의 전송 속도 선택, Wafer 범위 패턴) 가 포함됩니다. 자동 웨이퍼 정렬 (Automatic Wafer Aliger) 을 사용하면 전송 전에 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있으므로 오류가 발생할 수 있습니다. 또한, BROOKS AUTOMATION VacuTran 5의 독특한 웨이퍼 셰이핑 어셈블리를 사용하여 웨이퍼를 재구성하고 제거 할 수도 있습니다. VacuTran 5 (VacuTran 5) 는 온도와 습도를 조절하는 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 과 과도한 움직임 또는 처리가 있으면 인력을 감지하고 경고하는 안전 센서 (Safety Sensor) 를 포함하여 다양한 안전 기능을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION VacuTran 5는 완전하게 자동화된 웨이퍼 로딩 및 언로드 기능을 갖춘 유일한 웨이퍼 핸들러이기도합니다. 이 "웨이퍼 '는 크고 작은" 웨이퍼' 를 동시 에 처리 할 수 있는 능력 으로 안전 하고 정확 하게 "웨이퍼 '를 분배 한다. 전반적으로, VacuTran 5는 강력하고 안정적인 플랫폼을 제공하여 반도체 웨이퍼의 효율적이고 정확한 처리를 촉진하여 산업용 (industrial application) 에 적합합니다. 자동 전송 및 사용자 친화적 소프트웨어와 같은 기능을 갖춘 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5는 모든 반도체 생산 라인에 고성능, 다용도, 안전성을 제공합니다.