판매용 중고 BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501

BROOKS AUTOMATION VAC407은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. VAC407 (VAC407) 은 공정 도구 (예: 에터와 용광로) 와 와퍼 카세트 (wafer cassette) 사이에서 로봇 팔을 교환하기위한 자동 장비입니다. BROOKS AUTOMATION VAC407은 9 인치 및 12 인치 웨이퍼와 최대 200 마이크로 온의 8, 12 및 16 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 터치 스크린 패널에서 실행되는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 작동합니다. 이렇게 하면 연산자가 프로세스 레시피의 매개변수를 쉽게 수정할 수 있습니다. 조정할 수 있는 매개 변수에는 웨이퍼의 위치 및 방향, 웨이퍼 속도 (wafer velocity) 및 가속 (acceleration), 다른 도구 간의 이동 시간, 사용된 진공 및 압력 수준이 포함됩니다. VAC407에는 웨이퍼 교환을 위해 2 개의 독립 로봇 암이 장착되어 있으며, 처리 공구와 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 간의 동시 전송이 가능합니다. 이 장치 에는 "와퍼 '를 올바른 방향 으로 교환 하는 진공" 픽업' 을 갖추고 있다. 또한, 기계에는 정확한 전송을 보장하는 고유 한 매핑 알고리즘이 있습니다. BROOKS AUTOMATION VAC407에는 웨이퍼 카세트 및 도구를 찾고 검증하기 위해 강력한 Cognex Vision Tool이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "로봇 '암 이 항상 올바른" 웨이퍼' "카세트 '와 올바른 처리 도구 를 항상 정확 하게 식별 하고 교환 한다. 또한 VAC407에는 로봇 충돌, 환경 오염, 비정상적인 프로세스 상태를 방지하기위한 통합 안전 자산이 있습니다. 이 모델에는 강력한 공압 및 소프트웨어 안전 기능 (예: 자동 공구 차단, 비상 정지 버튼) 이 포함되어 있습니다. 장비에는 비정상적인 조건을 자동으로 점검하고 터치스크린에 표시하는 자가 진단 (self-diagnostic) 기능도 있어 시스템을 안전하게 작동시킬 수 있습니다. 브룩스 자동화 VAC407 (BROOKS AUTOMATION VAC407) 은 신뢰할 수 있는 사용자 친화적 웨이퍼 핸들러로, 처리 과정에서 정확한 전송을 보장하고 웨이퍼 오염을 방지합니다. 이 장치에는 강력한 안전 (Safety) 기능과 자체 진단 (Self-Diagnostic) 기능이 장착되어 있어 안정성이 높고 장애 가능성이 줄어듭니다.