판매용 중고 BROOKS AUTOMATION VAC-409 #293641123

BROOKS AUTOMATION VAC-409는 반도체 기반 재료 세트를 빠르고 효율적으로 운송, 조작 및 전달하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 다재다능한 기계는 간단한 로봇 재료 처리 (simple robotic material handling) 에서부터 복잡한 진공 보조 중공정 단계 (heavy process step) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 사용될 수 있습니다. 이 기계는 진공 포트, 고정밀 서보 모터, 인터페이스 컴포넌트의 독특한 조합으로 작동하여 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 모듈식 설계는 다이 제거 (die removal), 정렬 (sorting), 도량형 (metrology) 및 기타 고급 재료 처리와 같은 다양한 프로세스에서 작동 할 수 있습니다. VAC-409는 방향에 관계없이 최대 250 그램의 페이로드로 1, 2, 4, "6" 및 8 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 분리 가능한 진공 공급 장치, EMC 재료 세트와 함께 사용할 수 있는 액체 온도 제어 기능도 갖추고 있습니다. 로봇의 총 이동 범위는 X축에서 250mm, Y축에서 126mm이며, 모든 방향으로 재료 세트를 픽업, 캐리 및 배치 할 수 있습니다. 장수 진공 펌프는 드라이브 토크 (drive torque) 를 선택하여 정적 (static) 과 동적 진공 제어 (dynamic vacuum control) 를 모두 제공하여 힘 제어 및 시스템 유연성을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION VAC-409의 디자인은 마모를 줄이고 정확도를 최대화하도록 최적화되었습니다. 이 기계는 저관성 서보 모터를 특징으로하며, 비접촉 선형 인코더와 함께 웨이퍼의 초정밀 이동을 제공합니다. 전체 시스템에는 편리한 유지 관리 도구를 사용할 수 있습니다. VAC-409는 반도체 재료 처리 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 광범위한 재료 집합 (Material Set) 및 프로세스에 대한 탁월한 지원을 제공하며, 우수한 반복성을 통해 안정적인 성능을 제공합니다. 단순한 로봇 재료 처리 또는 복잡한 진공 지원 프로세스 단계에 사용되든, BROOKS AUTOMATION VAC-409 는 강력하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.