판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591710

BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express는 BROOKS AUTOMATION에서 설계 및 개발 한 웨이퍼 핸들러입니다. 최신 자동화 기술과 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) 제품의 강력한 안정성 및 지원을 결합하여 빠르고, 정확하고, 효율적인 웨이퍼 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. Techware 5 Express는 최대 500mm 웨이퍼 용량으로 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 멀티 헤드 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 웨이퍼 (Wafer) 처리량을 높이고 결함을 줄이고 처리량을 향상시켜 생산량을 늘리도록 설계되었습니다. 또한 인간이 개입하지 않고 웨이퍼 (wafer) 를 이전하거나 배치하는 등 다양한 자동 기능을 사용할 수 있습니다. 브룩스 자동화 기술 5 익스프레스 (BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express) 에는 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 메인프레임은 장비의 제어 센터 역할을하며 3 개의 주요 서보와 로봇 암이 있습니다. 로봇 암은 메인프레임과 독립적으로 웨이퍼 정렬, 배치, 전송 업무를 수행합니다. 로봇 암 (robot arm) 은 웨이퍼에 도달하고 삽입하고, 전송 슬롯에서 웨이퍼에 도달하는 등 다양한 동작을 할 수 있습니다. 또한 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 입금하고 집어 들고, 동시에 여러 방향으로 격리 된 웨이퍼를 입금할 수 있습니다. 로봇 암 (robot arm) 의 매우 민감한 센서와 피드백 시스템을 사용하면 최소한의 변형을 통해 원하는 위치에 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 또한 직관적인 제어 소프트웨어와 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 통해 효율적이고 정확한 작업을 수행할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 처리량 (wafer throughput) 을 최적화하도록 설계된 여러 알고리즘과 인력, 제품, 장치 자체의 안전을 보장하는 다양한 안전 검사 (Safety Check) 로 구성됩니다. Techware 5 Express는 SOI, MEMS 및 TFT를 포함하여 2 인치에서 9 인치까지 다양한 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 기계는 또한 실리콘, 쿼츠, 알루미늄 등 다양한 유형의 웨이퍼 재료를 처리 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express에는 진단 지원 및 서비스를 제공하는 유지 보수 툴도 내장되어 있습니다. 유지 보수 모듈은 자산 상태 (Asset Health) 를 모니터링하고 필요할 때 경고 (Alert) 를 표시하므로 운영자가 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 또한 모델 펌웨어 (Model Firmware) 를 업데이트하는 데 사용할 수 있으며, 장비는 기술의 빠른 발전에 따라 속도를 유지할 수 있습니다. 전반적으로, Techware 5 Express는 빠르고, 정확하며, 효율적인 웨이퍼 처리 기능을 제공하는 안정적이고 다양한 웨이퍼 핸들러입니다. 여러 가지 크기와 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하고 다양한 자동 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 직관적인 제어 소프트웨어와 내장형 유지 관리 시스템 (Maintenance System) 을 통해 운영 효율성을 극대화할 수 있습니다. 자동화된 기능과 강력한 신뢰성을 결합한 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express 는 모든 운영 환경에 이상적인 Wafer 처리기입니다.