판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591708

BROOKS AUTOMATION TECHWARE 5 Express Wafer Handler는 특정 프로세스 툴에서 다른 프로세스 툴로의 낮은 수량/배치 웨이퍼 전송을 자동화하기 위해 특별히 설계된 소프트웨어 및 하드웨어 장비입니다. 이 자동화 솔루션은 소규모 실습 및 설비, 또는 웨이퍼 (wafer) 처리량이 적은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. Techware 5 Express Wafer Handlerfeaturessophisticated, 사용자 친화적 인 소프트웨어와 전용 3축 컨트롤러가 제어하는 신뢰할 수있는 서보 및 스테퍼 모터. 이렇게 하면 위치, 속도, 가속 매개변수를 직접 제어할 수 있는 빠르고 정확한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 또한 시스템 소프트웨어를 사용하면 실제/타겟 위치 및 속도 값을 모니터링하면서 wafer-to-wafer 이동을 쉽게 설정 및 구성할 수 있습니다. 또한이 장치에는 로드 포트에서 자율적이고 안전하게 웨이퍼를 들어 올리는 통합 Pick and Place 도구와 기계식 로봇 암 (arm) 의 선택적 제어를 위한 아날로그 +/- 10V 입력이 포함되어 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 비상 정지 (Emergency Stop) 및 기계를 간섭으로부터 보호하기 위한 안전 인터 록 (Safety Interlock) 을 포함한 안전 기능이 완비되어 있습니다. 또한 제어 및 반복 가능한 제조 작업을 위해 최대 200 개의 프로그램을 저장할 수 있습니다. 통합된 기능적 안전성 평가는 자산의 안전성과 신뢰성을 크게 높여줍니다. 예를 들어, 모션 명령이 허용되기 전에 "로봇" 이 "준비 상태" 상태여야 하며, 모션이 발생하기 전에 "입력 및 출력 신호" 가 미리 정해진 논리 상태여야 합니다. 브룩스 자동화 기술 5 익스프레스 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler) 는 스테인리스 스틸 콜럼 (Stainless Steelcolumn) 과 페인트 베이스 플레이트로 강력한 구조를 갖추고 있으며 유지 보수가 낮고 유지 관리가 가능하며 모델을 거의 즉시 사용할 수 있습니다. 우수한 성능과 속도가 1m/s에 도달하고 +/- 0.05mm의 반복 성을 가진 이 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 공정에서 일괄 전송에 이상적인 솔루션입니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 고급 안전 기능을 갖춘 테크웨어 5 익스프레스 웨이퍼 핸들러 (Techware 5 Express Wafer Handler) 는 자동화 요구 사항을 충족하는 최적의 솔루션입니다.