판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019152
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ID: 9019152
Atmospheric wafer transfer robot 8.4"
Single arm
Equipped with Keyence AP-31K pressure sensor module
Does not include:
Power cable
Date cables
Robot controller
Arm extension.
BROOKS AUTOMATION Reliance ATR은 Fabs 및 microelectronics 제조업체에 안정적이고 효율적이며 유연한 솔루션을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러 기술입니다. ATR은 2 단계 로봇 암을 사용하여 카세트 전송에 대한 단일 웨이퍼 카세트의 효율적이고 빠른 로딩 및 언로딩을 지원합니다. "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 함유 한 "홀더 '를" 카세트' 에서 "카세트 '로 급속 히 이동 시켜 생산 지역 에서" 웨이퍼' 를 신속 히 옮긴다. ATR 로봇 암에는 웨이퍼 배치의 정확성을 보장하기 위해 정확한 속도 프로파일이 있습니다. ATR은 다양한 엔지니어링 및 제조 요구 사항을 위해 설계되었습니다. 견고하고 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 고급 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업에 대해 고급 자동화 (automation) 를 유지하는 것 외에도 사용자 정의 루틴을 생성할 수 있습니다. 이 시스템은 최대 4 개의 카세트 위치를 저장하여 처리량이 많은 제조에 이상적입니다. ATR 은 최고 수준의 성능을 보장하기 위해 견고한 (rigid) 베이스와 안정적인 구성 요소로 설계되었습니다. 확장 가능한 시스템 아키텍처를 제공하여 비전 (vision) 시스템, 레이저 마커 등의 추가 주변 장치를 통합할 수 있습니다. 모듈식 설계는 단일 또는 다중 카세트 로드 또는 언로드를 지원합니다. 이 시스템은 최대 30WPM의 속도로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. ATR은 또한 안전한 작동을 보장하기 위해 기계적 연동 (Mechanical Interlock) 및 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 같은 다양한 안전 조치를 갖추고 있습니다. 매끄럽고 컴팩트한 디자인은 귀중한 공간을 절약하는 반면, 통합 로봇 암 (robotic arm) 은 정확한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 이러한 모든 기능은 Reliance ATR을 모든 마이크로 일렉트로닉스 생산 라인에 이상적인 웨이퍼 처리 솔루션으로 만듭니다.
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