판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019144

BROOKS AUTOMATION Reliance ATR (AUTOMATION Reliance ATR) 은 효율적이고 안정적인 처리, 처리 및 웨이퍼 전송을 위해 자동화된 통합 솔루션을 제공하는 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 이름에서 알 수 있듯이, 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) 가 설계하고 제작했으며, 이는 수십 년 동안 자동화 및 반도체 산업의 선두 주자입니다. Reliance ATR은 프로세스 챔버 (process chamber) 와 프로세스 및 저장 위치 사이에 웨이퍼를 전송하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. 하이브리드 드라이브 (hybrid drive) 장비는 웨이퍼의 정확하고 낮은 진동 움직임을 보장하여 오염 및 웨이퍼 기판 손상의 위험을 최소화합니다. 이 시스템은 자동화된 카세트 매핑을 통해 혼합 크기의 카세트에서 빠르고 정확한 카세트를 단일/다중 위치 프로세스 그리드 (single/multiple position process grid) 로 로드할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 크기의 카세트와 공정 그리드 (Process Grid) 를 수용하여 웨이퍼 처리에 최대한의 유연성을 제공하도록 설계된 내장형 (Integrated Fit) 카트가 있습니다. BROOKS AUTOMATION Reliance ATR (AUTOMATION Reliance ATR) 에는 통합 진단이 포함되어 있으며, 작업을 빠르고 정확하게 중단 할 수있는 대부분의 문제를 감지하도록 프로그래밍되어 있습니다. 또한, 카세트 매핑 및 유지 관리 내역을 쉽게 액세스할 수 있어 유용한 성능 추적 및 최적화 기능을 제공합니다. Reliance ATR은 도어 잠금 (Door Lock), 협박 단추 및 안전 시스템 (Safety System) 을 포함한 고급 안전 기능으로 구축되어 변조를 방지합니다. 이를 통해 기계는 운영자를 유해 물질 (Hazardous Material) 이나 이동 부품 (Moving Part) 에 노출시키지 않으며, 또한 작동의 신뢰성을 높입니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR (AUTOMATION Reliance ATR) 은 웨이퍼 처리 및 전송을 위한 효율적이고 안정적인 플랫폼이며, 프로세스를 최적화하고 프로세스 중에 웨이퍼가 손상되지 않도록 다양한 기능과 안전 시스템을 제공합니다. 하이브리드 드라이브 툴 (Hybrid Drive Tool), 통합 진단 유틸리티 (Integrated Diagnostics) 및 유지 관리 기록 액세스 용이성은 고성능 웨이퍼 처리가 필요한 모든 어플리케이션에 적합합니다.