판매용 중고 BROOKS AUTOMATION R2D #9301043

BROOKS AUTOMATION R2D
ID: 9301043
Auto cassette transfer system.
브룩스 자동화 R2D (BROOKS AUTOMATION R2D) 는 가장 까다로운 웨이퍼 처리 환경에서 최대 처리량과 최고 품질의 성능을 제공하도록 설계된 대형, 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 이 자동 장비 는 고급 "로봇 '기술 을 사용 하여" 웨이퍼' 의 정확 한 위치 와 동작 을 제어 할 수 있도록 개발 되었다. R2D 웨이퍼 핸들러 (R2D Wafer Handler) 는 웨이퍼를 단일, 연속 동작으로 Wafer 프로세스 도구 안팎에 배치하는 고유한 기능을 갖춘 뛰어난 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 통합 제어 시스템을 사용하여 BROOKS AUTOMATION R2D 웨이퍼 핸들러를 자동으로 프로그래밍하여 도구에서 도구로 웨이퍼 정렬, 노출, 전송 등의 웨이퍼 처리 기능을 수행할 수 있습니다. R2D 웨이퍼 핸들러는 선형 및 회전 동작에 대해 +/- 5 미크론의 정확도로 높은 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 수준의 정확도는 정확한 웨이퍼 정렬 및 고 수율 웨이퍼 생산에 필수적입니다. 정확한 모션 제어 외에도 BROOKS AUTOMATION R2D는 고급 비전 유닛 기능을 제공합니다. 이 기계는 광학 센서와 고급 비전 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 위치 (wafer position), 방향 (orientation) 및 모서리 (edge) 패턴을 정확하게 찾아서 식별합니다. 또한 자동 교육 기능을 통해 다양한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업을 신속하게 프로그래밍하고 실행할 수 있습니다. R2D 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 사용하기 쉬운 자동 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 견고한 구성과 다양한 모션 컨트롤 (motion control) 기능을 통해 표준 및 맞춤형 웨이퍼 처리 시스템 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다. BROOKS AUTOMATION R2D에는 직관적 인 인터페이스가 있으며, 효율적인 작동을위한 신호가 분명합니다. 유연한 로봇 공학은 다이 본드 (die bond), 웨이퍼 전송 (wafer transfer), 리드 앵글 제어 (lead angle control) 와 같은 다양한 웨이퍼 처리 응용 분야에 적합합니다. R2D 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정확도나 안전성을 저해하지 않고 빠른 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 높은 수준의 자동화를 통해 속도, 정확성 및 반복성이 향상됩니다. 강력한 구성과 광범위한 모션 컨트롤 (motion control) 기능을 통해 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다