판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON PRE-350B-INT-CE-S2 #293644271
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BROOKS AUTOMITING PRE-350B-INT-CE-S2 웨이퍼 핸들러는 산업 및 실험실 장비와 함께 사용하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 핸딩 솔루션입니다. 처리기 는 가공 하는 동안 "웨이퍼 '를 정확 하고, 효율적 이고, 안전 하게 처리 하도록 설계 되었다. PRE-350B-INT-CE-S2는 산업용 및 실험실 용도에 이상적인 컴팩트하고 견고한 디자인입니다. 이 장치는 손쉽게 사용자 인터페이스를 사용할 수 있으며, 손쉽게 디지털 디스플레이 읽기 (Reading Display) 와 터치 스크린 (Touch Screen) 을 통해 작업을 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 핸들러는 완전하게 자동화된 모션 컨트롤 시스템 (motion control system) 을 갖추고 있어 부드럽고 정확한 웨이퍼 이동, 정밀 포지셔닝 기능을 제공합니다. 이 장치에는 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 이 있으며, 이 비전 시스템은 외부 물체뿐만 아니라 웨이퍼 부품을 정확하게 찾고 식별 할 수 있습니다. 핸들러는 직경이 12 ~ 175mm인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. "와퍼 '에 정확 하게 맞추어, 안전 하고 정확 한" 그립' 을 위해 조정 가능 한 "가아드 '가 있다. 끝 이펙터 (End effector) 에는 안전한 그립핑을 보장하기 위해 흡입 컵과 웨이퍼를 정확하게 들어 올리고 운반하는 웨이퍼 리프팅 메커니즘이 통합되어 있습니다. "웨이퍼 '는 어떠 한 형태 의 평판 기판 으로 옮겨져서" 카세트' 에 적재 하여 추가 처리 할 수 있다. 이 장치에는 또한 맞춤형 조작 장치 (manipulator) 와 서보 제어 회전 액츄에이터 (rotational actuator) 가 장착 된 다방향 픽 및 플레이스 기능이 있습니다. 이 장치에는 우발적 인 취급 오류를 방지하고 보호하기 위해 안전 시스템 (Safety System) 이 내장되어 있습니다. 기계는 3 개의 개별 전기 공압 밸브 (electro-pneumatic valve) 로 구동되어 최종 이펙터에 압력을 가해 잡아 방출합니다. 이는 프로세스 전반에 걸쳐 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMITALPRE-350B-INT-CE-S2 웨이퍼 핸들러는 산업 및 실험실 사용을 위해 설계된, 안정적이고 사용하기 쉬운 웨이퍼 처리 솔루션입니다. "와퍼 (wafer) '는 정확하고 정확한 전송 및 포지셔닝이 가능하며, 가능한 모든 오류로부터 안전한 처리 및 보호를 보장하는 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다.
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