판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-300/300BU #9206800

BROOKS AUTOMATION PRE-300/300BU는 반도체 생산 환경에서 사용되는 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 프로세스를 완료하기 위해 다양한 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 효과적으로 전송, 정렬 및 전송하도록 설계되었습니다. PRE-300/300BU (PRE-300/300BU) 는 소형, 사용자 친화적 웨이퍼 핸들러로 전송, 정렬 및 전송 프로세스를 개선하기 위해 고유한 기능 세트를 사용합니다. 이 장치는 웨이퍼 축적 및 전송을 위해 전기-기계 서보 정렬 (electro-mechanical servo alignment) 장비를 사용하며, 이는 웨이퍼를 일관되고 정확하게 정렬하여 전송 전과 전송 중에 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. 정교한 웨이퍼 인식 시스템 (Wafer Recognition System) 은 Wafer 가 위치 및 해제되기 전에 Wafer 의 임계 크기를 자동으로 감지하고 측정합니다. 이는 높은 수준의 정확성을 보장하며, 장치를 해제하기 전에 잘못 정렬, 손상, 오염된 웨이퍼를 거부 할 수 있습니다. PRE-300/300BU 핸들러에는 로드 인터페이스 컴포넌트의 평평함을 보장하는 자동 레벨 (auto-leveling) 기술이 있습니다. 이것 은 수송 중 에 "웨이퍼 '수치 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 공정 의 질 에 영향 을 줄 수 있는 진동 과 소음 을 제거 한다. 공구 무결성 검증 기능 (Tool Integrity Verification Features) 도 포함되어 있어 운영 프로세스 전반에 걸쳐 자산이 최고의 성능 수준으로 작동하는지 확인합니다. 이것은 모델이 예상대로 작동하고 있다는 추가 보증 계층을 제공합니다. PRE-300/300BU는 최대 웨이퍼 직경이 600mm 인 15 밀에서 150 밀의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 장비에는 통합 웨이퍼 바코드 리더기 (Wafer Barcode Reader) 도 포함되어 있어 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 추적 가능성을 위해 웨이퍼를 쉽게 식별 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 설계 외에도, PRE-300/300BU (PRE-300/300BU) 에는 프로세스 인력의 안전을 보장하는 포괄적인 안전 기능이 제공됩니다. 비상사태 발생 시 웨이퍼 (wafer) 취급 장치를 즉시 중지하고 안전 인클로저 (safety enclosure) 는 움직이는 부품과의 우발적 상호 작용을 방지합니다. PRE-300/300BU (PRE-300/300BU) 는 다양한 생산 프로세스에 대해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 사용 편의성과 최적 안전 (Optimum Safety) 을 통해 일관되고 정확한 웨이퍼 처리 작업을 제공할 수 있습니다. 반도체 생산시설의 효율성 증대· 비용 절감을 위한 이상적인 선택이다.