판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9409375

브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE) 는 반도체 및 태양 전지 제조 산업의 요구를 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 모델은 VTA (Vacuum Transport Arm) 및 PA (Pusher Arm) 가있는 완전히 통합 된 웨이퍼 핸들러로 최대 200mm의 여러 웨이퍼 유형을 전달 할 수 있습니다. 진공 운송 장비는 정확한 웨이퍼 처리를 허용하는 반면, 고속 작동 시스템은 효율적인 작동을 보장합니다. PRE-200-CE (PRE-200-CE) 는 알고리즘을 사용하여 얇은 웨이퍼와 두꺼운 웨이퍼를 구별하는 마이크로프로세서 기반 컨트롤러를 통해 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 고효율 PWTS (Pick-and-Place Wafer Transport Unit) 를 통해 메커니즘은 다른 크기와 두께의 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 전송할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러는 패턴화 (patterning), 누적 (stacking) 과 같은 여러 절차를 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 기계의 기능은 터치스크린 인터페이스를 통해 자동화되어 설치, 작업, 유지 관리를 단순화합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스에는 통합 레시피 에디터 (Rechipe Editor) 및 보고 머신 (Reporting Machine) 이 포함되어 있어 웨이퍼 처리 절차를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 최대 500 mm/sec의 전송 속도를 낼 수 있으며, 최고 수송 암 가속은 최대 12 G입니다. 또한 압력 센서 기반의 동적 슬롯 인식 (Dynamic Slot Recognition), 통합 비디오 모니터링 및 기타 여러 자동 기능을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE는 매우 깨끗한 환경에서 작동하며 와퍼를 오염으로부터 보호하기 위해 완전히 보호됩니다. 안정성을 보장하기 위해 고급 (Advanced Bearingless) 드라이브 도구를 사용하며 부식 및 마모에 저항하도록 특별히 설계된 재료로 만들어졌습니다. 전반적으로 PRE-200-CE 웨이퍼 핸들러 (PRE-200-CE wafer handler) 는 정확성과 반복성이 높은 광범위한 반도체 및 태양 전지 제조 프로세스를 처리 할 수있는 강력하고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 도구입니다. 탁월한 자재 (material) 호환성과 더불어 오염에 대한 강력한 보호 기능을 제공하므로 가장 까다로운 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.