판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9194533

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE는 반도체 제작 응용 프로그램을위한 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 자동화된 장비는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 로의 와퍼 (Wafer) 를 정확하게 이동/분리할 수 있도록 설계되었으며, 처리량이 높고, 여러 애플리케이션에 손쉽게 확장할 수 있습니다. PRE-200-CE (PRE-200-CE) 는 고유한로드 포트 설계를 통해 로봇과 전송 포드 사이에서 웨이퍼를 신속하게 교환 할 수 있습니다. 이 고속 전송 기능을 통해 빠른 제품 변경과 무장벽 전송이 가능합니다. BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE는 고급 로봇 공학, 디지털 마이크로 컨트롤러 설계 및 사용하기 쉬운 HMI (human-machine interface) 로 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 동시 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능하며, 웨이퍼 전송을 위한 정확한 동작 제어가 가능합니다. PRE-200-CE (PRE-200-CE) 는 정교한 웨이퍼 관리 처리 소프트웨어와 통합되어 다양한 기능을 제공하여 웨이퍼 처리를 간소화합니다. 이 소프트웨어는 다른 로봇 및 시스템의 일부와의 충돌을 방지하고, 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업을 프로그래밍할 수 있도록 하며, 장치 모니터링 (unit monitoring) 및 보고 (reporting) 를 지원합니다. BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE의 핵심은 로봇 컨트롤러로, 높은 처리량과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 컨트롤러에는 고급 실시간 운영 체제가 포함되어 있어, 신속하고 정확한 웨이퍼 전송을 위해 반복 모션 제어가 가능합니다. 또한 컨트롤러는 고급 진단, 오류 처리, 도구의 원격 모니터링을 위한 네트워크 연결 (Network Connectivity) 기능을 제공합니다. PRE-200-CE 로봇 웨이퍼 핸들러는 소형 폼 팩터 (form factor) 와 클린 룸 (cleanroom) 용도에 이상적인 작은 설치 공간으로 설계되었습니다. 또한 제조 공정의 변화하는 요구 사항을 충족하는 조정 가능한 크기도 제공합니다. 이 로봇 웨이퍼 핸들러는 열 공정 원자로, 인라인 검사 시스템, 지원 시스템 등 다른 장비와 쉽게 통합됩니다. 전반적으로, BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE는 다양한 어플리케이션에 대해 안정적이고 반복 가능한 모션 제어를 제공하는 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 강력한 구성과 높은 처리량 기능으로 인해 대용량 반도체 제조 (Fabrication) 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 HMI 및 고급 소프트웨어 기능을 갖춘 PRE-200-CE 로봇 웨이퍼 핸들러는 자동 웨이퍼 처리 프로세스에 이상적입니다.