판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #9160292

BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 클린 룸 환경 간에 웨이퍼를 이동, 정렬, 안전하게 전송하도록 설계되었습니다. 길이와 너비 (최대 75mm), 두께 (최대 0.5mm) 의 소형 웨이퍼 크기에 가장 적합합니다. 자동 웨이퍼 핸들러 (Automated Wafer Handler) 는 다양한 카세트, 전송 및 전송 메커니즘을 수용할 수있는 유연성을 제공하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. MULTITRAN 5에는 펜티엄 프로세서가 제어하는 내장 다기능 로봇이 장착되어 있습니다. 이 프로세서는 고속 (high-speed) 프로세싱을 지원하며, 로봇의 동작을 프로그래밍 및 제어할 수 있는 옵션을 제공합니다. 프로그래밍 및 탐색을 용이하게하는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 로봇은 또한 속도 및 위치 피드백이 통합 된 가변 속도 모터 제어 시스템 (Variable Speed Motor Control System) 을 갖추고 있습니다. 따라서 동적 처리 환경에서도 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 전송이 가능합니다. BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5는 부식 내성을 위해 스테인리스 스틸로 구성되며 정전기 방전 (ESD) 을 보호합니다. 이 제품은 반복적으로 사용할 수 있도록 설계되었으며, 기존의 수동 처리 설정 (manual handling setup) 보다 뛰어난 안정성과 성능을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 핸들러 (automated wafer handler) 에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있어 처리 과정에서 웨이퍼가 손상되지 않도록 합니다. 또한 먼지없이 처리 할 수있는 먼지 제거 시스템이 내장되어 있습니다. 또한, 이 소프트웨어에는 사용자가 사용자 정의하고 운영할 수 있는 여러 안전 (Safety) 프로토콜이 포함되어 있습니다. 이 기능 외에도 MULTITRAN 5에는 다양한 추가 액세서리가 포함되어 있습니다. 여기에는 교정 일정, 어댑터 카세트, 전송 플레이트, 연동 스위치 브래킷, 전송 추적, 접합 상자 및 제한 스위치가 포함됩니다. 웨이퍼 스프링, 댐핑 시스템, Wringle 크래들 등 다양한 안전 품목을 구입하여 웨이퍼 손상을 방지할 수도 있습니다. BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5는 또한 선형 레일 및 업계 표준 인터 록을 포함한 다양한 외부 부품과 호환됩니다. 전반적으로 MULTITRAN 5는 반도체 제작 프로세스에 이상적인 안정적이고, 풍부한 기능의 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 프로그래밍 및 모션 (motion) 기능을 제공하여 동적 환경에서도 정확하고 안전한 웨이퍼 전송을 지원합니다. 다양한 안전 (Safety) 기능과 먼지 없는 처리 환경을 제공하여 고품질의 결과를 보장합니다. 또한 다양한 액세서리 (accessory) 와 외부 부품 (external part) 이 지원되므로 유연성과 적응성이 더욱 향상됩니다.