판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #197759

BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5는 가장 까다로운 반도체 패브의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 수동 처리기가 필요한 시간 동안 200mm 및 300mm 웨이퍼의 안정적인 전달 및 처리를 제공하는 완전자동 SECS/GEM 호환 장비입니다 (영문). 높은 정확성과 반복성을 갖춘 MULTITRAN 5 는 높은 처리량 생산 환경에서 작동할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5는 브러시리스 (Brushless) DC 서보 모터 및 정밀 볼 스크류 드라이브를 통합하여 반복 가능하고 정확한 위치를 가진 고해상도 선형 동작을 제공합니다. 강력한 RFID 기반 웨이퍼 (wafer) 입력/출력 기능을 통해 각 웨이퍼의 ID를 추적하고 제조 프로세스 전반에 걸쳐 경로를 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 특히 여러 로드 스포츠, 카세트, 프런트 엔드 스톡커, 도구/프로브 사이트 및 도량형 장치 간의 효율적인 웨이퍼 전송을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 망원경 합금 트랙 (telescoping alloy track) 과 독립 전동 트레이 (motorized tray) 한 쌍을 사용하여 작동 영역 내 모든 지점에 대한 웨이퍼를 픽업/전달할 수 있습니다. MULTITRAN 5는 웨이퍼 배달을위한 여러 카세트 인터페이스 뱅크, 게이트 컨트롤을위한 로봇 암 인터페이스, 원격 IO (remote IO) 및 추가 트레이 (tray) 등 다양한 옵션 기능을 통해 높은 수준의 확장성을 제공합니다. 또한 간편한 데이터 입력, 실시간 진단, 올바른 도구 설정을 위한 직관적인 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 또한, 유연한 모션 컨트롤 (motion control) 자산을 통해 제조 환경에 쉽게 통합할 수 있으며, 동일한 모델 내에서 여러 웨이퍼를 동시에 사용할 수 있습니다. 간편한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 빠른 장비 설정 (Quick Equipment Setup) 을 수행할 수 있으며 애플리케이션별로 시스템을 구성할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다. 브룩스 자동화 멀티 트랜 5 (BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5) 는 혹독한 FAB 환경에서 작동할 수 있도록 설계되었으며, 최소한의 유지 보수를 통해 안정성과 긴 운영 수명을 보장합니다. 특허 받은 캐리어 리스 (carrierless) 디자인을 사용하여 카세트 및 캐리어 변형과 관련된 우려를 제거하고 섬세한 웨이퍼에 대한 스트레스를 줄입니다. 그 견고 한 건축 은 수명 을 연장 시켜 주며, 유지 보수 와 수리 를 덜 할 필요 가 있게 해 준다.