판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301

브룩스 자동화 MTX 4000 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handler) 는 반도체 웨이퍼를 이동하고 처리 도구에 정확하게 배치하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. wafer transport, wafer loading 및 test wafer handling, coating and unsealing, probing, die pick and place 등의 응용 분야에 적합합니다. MTX 4000에는 고급 센서와 조작기 (manipulator) 가 장착되어 있어 파퍼를 처리 도구에 정확하게 전송하고 배치하고, 와퍼 형상을 평가하여 품질 보증 (quality assurance) 을 제공합니다. 웨이퍼 조작기 (wafer manipulator) 는 웨이퍼를 작동시키도록 설계되었으며, 그립핑 힘과 웨이퍼 위치는 동기화되고 제어됩니다. 브룩스 자동화 MTX 4000 (BROOKS AUTOMATION MTX 4000) 은 PLC 기반 논리 제어 시스템 (Logic Control System) 으로 구동됩니다. 이 장치 는 "웨이퍼 '의 온도 와 위치 를 정밀 하게 조정 하는 데 사용 되는데, 이것 이" 웨이퍼' 를 운반 장치 를 향하여 이동 시키고 멀어지게 하는 데 사용 된다. 제어기 (Control Machine) 에는 이중 이중 공기 밸브가 있어 공구 전체에서 압력이 균등하고 일관성을 보장합니다. MTX 4000에는 조정 가능한 비상 차단 밸브, 전체 자산 인터 록과 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. 또한 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 은 모델을 통합하기 위해 다른 관련 하드웨어/소프트웨어와 상호 작용할 수 있습니다. 여기에는 FOUP 처리 메커니즘, 로드 포트 및 카세트 조작기의 사용이 포함됩니다. OEM 인터페이스 보드는 MTX 4000 및 기타 시스템 간의 연결을 제공하며 사용자는 wafer recipe, coordinate signal, send/receive other control signal 등의 데이터를 보낼 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION MTX 4000에는 색상 터치스크린 터미널, 다단계 암호 보호, 다국어 지원 등 다양한 기능이 추가로 제공됩니다. 또한 내장 공기 필터, 압력 변환기, 열 모니터링과 같은 기능을 활용하여 환경 모니터링을 지원합니다. MTX 4000 은 다른 크기의 웨이퍼에 맞게 구성, 사용자 정의할 수 있으며, 장비는 수동/자동 모드로 작동할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handler는 정확성과 안전을 보장하기 위해 고급 센서 및 제어 시스템을 갖춘 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 시스템입니다. 광범위한 기능, 유연성, 통합 기능을 통해 반도체 업계의 웨이퍼 프로세싱 (wafer-processing) 애플리케이션을 선택할 수 있습니다.