판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435
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BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 반도체 제작, 도량형 및 반도체 테스트를 포함한 응용 분야를위한 고급 정밀 웨이퍼 핸들러입니다. MTX 2000은 독특한 3 축 미세 동작 제어 장비를 사용하여 온도 조절 챔버에 배치 된 웨이퍼에 대한 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000의 미세 동작 제어 시스템은 웨이퍼의 X-Y-Z 위치를 제어하는 3 개의 선형 모터로 구성됩니다. 3 개의 선형 인코더가 웨이퍼의 정확한 위치를 측정하고 기록합니다. 이 복잡한 단위는 단일 미크론 웨이퍼 배치 정확도를 허용하며 MTX 2000 웨이퍼 전송 작업 간의 반복성을 보장합니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 4 (4) 미크론 미만의 정확도에 따라 웨이퍼 로드/언로드, 전송 및 정렬이 가능합니다. 대용량 로봇 진공 그리퍼를 사용하면 직경 6 ~ 12 인치의 웨이퍼를 정확하게 처리 및 운송할 수 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 매핑 기능은 다중 위치 웨이퍼 전송의 사용자 정의 프로그래밍을 단순화합니다. MTX 2000의 온보드 컴퓨터 시스템은 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 모든 웨이퍼 전송 작업을 조정합니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 의 프로그래밍 소프트웨어를 사용하면 도구의 전송 매개변수를 조정하여 웨이퍼 전송 속도와 정확도를 최적화할 수 있습니다. 웨이퍼 로드/언로드 자산은 진공 기반 웨이퍼 카세트 전원 공급 장치, 진공 기반 Z축 리프트 및 컨베이어 벨트 메커니즘으로 구성됩니다. "와퍼 '" 카세트' 전원 공급 장치 는 오염 없는 "웨이퍼 '전달 을 위해 질소" 가스' 와 특수 설계 를 이용 하여 오염 물질 을 걸러 낸다. 표준 모델 이외에도 MTX 2000 은 Class 1 Cleanroom 구성으로 제공되며, 애플리케이션에는 추가 청결 및 불임이 필요합니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 다양한 온도 조절, 습도 제어, 대기 압력 제어 기능을 제공하여 웨이퍼 처리 및 처리에 이상적인 환경을 보장합니다. 작동 온도는 -40 ° C ~ 300 ° C이며 ± 1 ° C 이내의 정확도를 유지합니다. MTX 2000 의 통합 운영은 광범위한 업종과 애플리케이션을 위한 완벽한 솔루션이 됩니다.
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