판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9194300

BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 반도체 제작 및 재료 처리 등 여러 업종에서 사용하도록 설계된 고성능 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 베어 (bare), 에칭 (etched) 또는 코팅 된 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. MTX 2000은 Pick 및 Place 작업과 Wafer 수동 로드 및 언로드가 모두 가능합니다. 내장형 고속 로봇 암 (High Speed Robotic Arm), 직관적 인 사용자 인터페이스 (User Interface) 및 온보드 마이크로컨트롤러 (On-Board Microcontroller) 가 특징입니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 높은 처리량, 정확성 및 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. DC 브러시리스 서보 모터를 사용하여 로봇 팔에 전원을 공급합니다. 이를 통해 시스템은 빠른 속도와 정확도로 팔을 움직일 수 있습니다. 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 를 사용하면 장치의 상태와 작동 상태를 쉽게 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 이 기계는 또한 로봇 암 (robotic arm) 의 정밀 위치화 및 공구의 원활한 가속 및 감속을 제공하기 위해 조정 할 수있는 통합 PID 컨트롤러 (integrated PID controller) 를 갖추고 있습니다. 에셋을 입력 및 종료하는 웨이퍼는 게이트 모델에 의해 제어됩니다. 이 게이트 장비 (gate equipment) 는 웨이퍼의 흐름을 제어하고 하중 포트의 오염으로 인한 교차 오염을 예방할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다른 크기의 웨이퍼를 받아들이고, 두 개의 다른 크기의 웨이퍼를 동시에 처리하도록 구성할 수 있습니다. 통합 진공 장치 (integrated vacuum unit) 를 사용하여 한 공정 단계에서 다음 공정 단계로 웨이퍼를 집어 이동할 수도 있습니다. 이 기계는 또한 적절한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 온보드 컴퓨터 (On-Board Computer) 는 공구의 상태와 작동을 모니터링하고 운영자가 없는 경우에도 작동을 허용합니다. 또한, 에셋에는 일련의 기계적 (mechanical) 과 전기적 (electrical) 연동이 있어 모델 오작동의 결과로 위험한 상황이 발생하지 않습니다. 마지막으로, MTX 2000 은 전자 제어 장비로, 프로그래밍 및 제어 측면에서 다양한 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 청킹 (Wafer Chunking), 웨이퍼 브레이킹 (Wafer Breaking), 웨이퍼 정렬 (Wafer Sorting) 및 기타 여러 응용 프로그램에 맞게 시스템을 구성하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치를 사용하여 사용자는 사용자의 작업 (operation) 의 특정 요구 사항에 맞게 성능을 사용자 정의할 수 있습니다.