판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293663057

BROOKS® AUTOMATION BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 고급 반도체 처리를 위해 완전히 자동화 된 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 제로 결함 웨이퍼 전송 및 포지셔닝 정확도를 제공하며 50mm에서 200mm까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 팔레티징 카세트 및 인라인 전송 장비로 최대 8200 웨이퍼를 지원합니다. 통합 로봇 (Robotics) 및 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 은 정확한 웨이퍼 처리 및 처리에 대한 가장 엄격한 고객별 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. MTX 2000 자동 웨이퍼 처리 솔루션은 고급 모션 제어 기술 및 모듈식 유닛 토폴로지의 이점을 누릴 수 있습니다. 모든 전기 서보와 유압이 없으며, 부드럽고 정확한 웨이퍼 전송을 보장하고 웨이퍼 처리량을 최대화합니다. 또한 매우 정교한, 간섭없는 안전 머신 (interference-free safety machine) 을 갖추고 있어 높은 처리 속도와 단단히 제어된 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 및 위치 정밀도를 유지하면서 공구의 안전한 작동을 보장합니다. 이 자산은 더 빠른 처리 속도와 여러 웨이퍼 (wafer) 배치 가능성으로 유연성과 안정성을 제공합니다. 또한 챔버-챔버 주변 웨이퍼 전송을 지원하며, 높은 처리량 밀도를 제공합니다. 또한, 고급 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 가동 시간과 자원을 극대화하고, 비용이 많이 드는 다운타임을 줄여 사전 예방적 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 다용도 공구 체인저 (changer) 를 통해 여러 로봇과 도구를 빠르고 쉽게 교환할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 Automated Wafer Handling 솔루션은 다양한 장비, 베이크 플레이트 (Bake Plate) 및 장전 암과 통합되도록 설계되었으며 고객의 정확한 프로세스 요구 사항에 맞게 맞춤식으로 구성할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 버전으로 제공되며, 다양한 수준의 자동화 및 제어 (automation and control) 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 구성 및 업그레이드가 용이하며, 향후 확장성 및 비용 효율성을 확보할 수 있습니다. 마지막으로, MTX 2000 장비는 유명한 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) 서비스 및 지원 팀의 지원을 받아, 수십 년 동안 고급 엔지니어링 및 제조 기능이 지원하는 안정적인 전문 서비스를 제공합니다.