판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293600562

브룩스 자동화 MTX 2000 (BROOKS AUTOMATION MTX 2000) 은 오늘날의 반도체 처리 환경의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 탁월한 생산성과 성능을 제공하는 최고의 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. MTX 2000은 최소 가동 중지 시간 (downtime) 을 통해 중직경에서 대직경의 웨이퍼 (wafer) 직경을 처리할 수 있도록 설계되어 있으며, 사용자는 최적의 수율 및 최대 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 온보드 진단 및 프로그래밍 시스템과 함께 중복된 축을 갖춘 고급 고속 웨이퍼 처리 장비입니다. 최상위 로더 설계를 통해 웨이퍼 캐리어를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한 로드 포트 (load port) 간에 부품을 유연하게 교환하여 빠른 설정을 변경할 수 있습니다. 고급 로봇 작동기, 선형 모터 드라이브 및 스마트 소프트웨어 제어 장치는 사실상 다운타임 없는 웨이퍼 처리를 제공합니다. 이 시스템은 wafer motion 하위 시스템, wafer buffering 하위 시스템 및 wafer transfer 하위 시스템의 세 가지 하위 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 동작 서브시스템은 X, Y 및 Z 축을 따라 웨이퍼를 이동합니다. 웨이퍼 버퍼링 (wafer buffering) 서브시스템은 원하는 전송 순서에 따라 우선순위의 웨이퍼 목록을 저장합니다. 웨이퍼 전송 하위 시스템은 배송 사이트와 응답 사이트 사이에서 수평으로 웨이퍼를 종료합니다. MTX 2000은 다양한 크기와 무게의 스레드, 스레드 제거, 정렬, 브로커, 전송 및 리탑 웨이퍼를 정확하게 스레딩하도록 설계되었습니다. 또한 "웨이퍼 '가 공구 에 들어온 것 과 같은 순서 로 빨리 찾아 색인 을 한다. 자산에는 안전 및 보안에 필수적인 Anti-Pattern, Interlock 및 Estop 기능이 있습니다. BROOKS AUTOMATION MTX 2000은 또한 고급 여과 모델로 미립자 생성을 줄일 수 있습니다. Brooks's Automation MTX 2000은 신뢰할 수 있는 웨이퍼 핸들러로, 사용자의 특정 요구를 충족할 수 있도록 사용자 정의할 수 있습니다. 최대한의 수익률, 비용 절감 효과, 탁월한 성능 등 초고속 환경을 위한 최적의 솔루션입니다.