판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MTR-5 #9012382

BROOKS AUTOMATION MTR-5는 자동 웨이퍼 전송 및 처리를 위해 설계된 정교한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 웨이퍼 처리 챔버 내에서 웨이퍼를 이동 및 정위하는 로봇 제어 장치입니다. "웨이퍼 '를 돌리고, 골라 놓은 다음, 그것 을" 웨이퍼' 처리 실 과 저장 장치 모듈 혹은 "로오드 잠금 '모듈 사이 에 전송 하도록" 프로그램' 할 수 있다. BROOKS AUTOMATION MTR5 는 여러 Wafer 처리 플랫폼과 호환되므로 다양한 Wafer 처리 요구 사항에 적합합니다. MTR 5의 수직 범위는 최대 35 센티미터이며, 웨이퍼 처리 어셈블리에 최대 5 개의 웨이퍼를 보유 할 수 있습니다. "로봇 '조작 장치 의 속도 는 조정 할 수 있으며, 로드 (loading) 와 언로드 (unloading) 구역 에" 웨이퍼' 를 정확 히 배치 할 수 있다. 이 장치는 웨이퍼를 지정된 X, Y 및 Z 위치로 정확하게 이동할 수도 있습니다. MTR5에는 스마트 진공 유형 모듈 (Smart Vacuum Type Module) 도 있어 과잉 처리로 인해 웨이퍼가 손상되지 않습니다. BROOKS AUTOMATION MTR 5에는 스크래치나 손상을 입히지 않고 웨이퍼를 부드럽게 집을 수있는 빠른 후퇴 진공 형 노즐이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 처리 장비는 소규모 및 대용량 생산 요구 사항을 모두 충족하도록 제작되었습니다. 로봇 조작기는 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위해 높은 정확도 포지셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 장치 및 부품을 보호하는 모션 감지 안전 메커니즘 (motion-sensing safety mechanism) 과 같은 여러 안전 기능이 있습니다. MTR-5는 또한 온보드 PLC 제어 장치를 특징으로하며, 이를 통해 유연한 프로그래밍과 개별화 된 작동이 가능합니다. 또한 여러 작업을 병렬로 실행할 수 있습니다. PLC에는 손쉬운 웨이퍼 처리 및 모니터링을 위한 손쉬운 터치스크린 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 외부 자동화 시스템 및 기타 장치에 연결하기 위한 원격 I/O 포트도 있습니다. BROOKS AUTOMATION MTR-5는 부드럽고 안정적인 웨이퍼 선택 및 배치 작업을 제공하도록 설계되었습니다. 정렬, 쌓기, 스텐실링, 에칭, 딥 코팅과 같은 다양한 작업에도 사용할 수 있습니다. 로봇 조작기 (Robot Manipulator) 는 최고 품질의 구성 요소로 만들어지며 1 년 보증이 제공됩니다. BROOKS AUTOMATION MTR5는 웨이퍼 처리를 위한 효율적인 솔루션을 제공합니다.