판매용 중고 BROOKS AUTOMATION MPO-1000 #9279872

BROOKS AUTOMATION MPO-1000은 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 매우 정확하고 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 정확 한 정확도 로 "로봇 '팔 이동 을 할 수 있으며, 그것 을 통하여 많은" 웨이퍼' 에서 "카세트 '로 정확 하게" 데이' 를 옮길 수 있다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 25mm ~ 200mm 범위의 웨이퍼 크기로 작동하며, 전체 비전 기능이 장착되어 카세트에서 다이 (die) 의 위치를 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. MPO-1000 은 소스에서 목적지로 웨이퍼 (wafer) 나 다이 (die) 를 운반하고 필요한 방향으로 회전시킬 수 있는 6 축 (6 Axis) 로봇 암을 사용합니다. 또한 다양한 액추에이터, 대량 흐름 컨트롤러, 조정 가능한 공구 설비 (tooling) 등의 기능이 장착되어 있습니다. 따라서 다양한 wafer handler 애플리케이션에서 효율적이고 정확하게 작업할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION MPO-1000은 인라인 및 배치 프로세스 모두에서 작동할 수 있습니다. 즉, 단일 다이 (die) 를 소스에서 목적지로 옮기거나 많은 다이 (die) 를 카세트에서 로트로 이동할 수 있습니다. 이는 대용량 애플리케이션에 적합합니다. 이 "웨이퍼 핸들러 '에는 또한" 다이' 의 흐름 을 제어 하는 데 도움 이 되는 진공 "시스템 '과" 다이' 의 전달 중 의 정확도 를 향상 시키기 위한 특수 "센서 '(예: LVDT 및 정전식" 센서') 가 갖추어져 있다. MPO-1000은 조용하고 견고하며 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 극한의 온도와 진동을 견딜 수 있으며, 평균 수명이 길다. 또한, 다양한 모니터링 및 로깅 시스템 (monitoring and logging system) 이 장착되어 있어 사용자가 웨이퍼 처리 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, BROOKS AUTOMATION MPO-1000은 강력하고, 안정적이며, 정확한 웨이퍼 처리기로, 다양한 애플리케이션에 대한 반도체 산업의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 다양한 기능을 통해 소스 (source) 에서 대상 (die) 으로 안정적으로 전송할 수 있으며, 진단 시스템에서는 웨이퍼 처리 프로세스를 모니터링할 수 있습니다.