판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7 #9373246

BROOKS AUTOMATION Magnatron 7은 최신 반도체 처리를 위해 설계된 완전 자동화 된 다기능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 픽앤 플레이스 (pick-and-place), 정렬, 샷 블라스팅, 측정 및 검사 작업을 매우 정확한 정확도로 수행 할 수있는 로봇 팔이 있습니다. 이 로봇 암은 최대 프로세스 결과에 대한 웨이퍼 방향 지정, 카세트 로드 및 언로드, 매개변수 측정, 이상 감지, 도구 간 웨이퍼 전송 등 다양한 유형의 작업에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. 로봇 암에는 6 개의 동작 축이 있으며, 이를 통해 3 차원 웨이퍼 로딩 공간에서 임의의 지점에 도달 할 수 있습니다. 또한 PWM (pulse-width-modulation) 인코더 피드백 루프를 기반으로하는 소프트웨어 제어 모션 컨트롤을 사용합니다. 피드백 루프를 사용하면 로봇 암이 안정적이고 반복 가능한 동작을 유지할 수 있습니다. 브룩스 자동화 마그나 트로네 7 (BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7) 은 또한 로봇이 매우 빠른 응답 시간을 달성하고 로봇이 복잡한 궤적을 정확하게 따르고 웨이퍼를 빠른 속도로 정위할 수 있도록 도와주는 고해상도 서보 장치 (servo unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 빠른 처리를 위해 가열된 웨이퍼의 위치와 방향을 감지하는 열 화상 (thermal imaging) 카메라가 있습니다. 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Handling Tool) 는 터치스크린에 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있지만 에셋의 프로그래밍, 구성 및 작동이 용이합니다. 이 모델은 독립형 (Standalone) 작업이나 더 큰 반도체 처리 장비로 통합되도록 구성할 수 있습니다. 마그나 트론 7 (Magnatron 7) 은 또한 시스템의 정기 자체 테스트를 허용하는 자기 진단 (self-diagnostics) 과 같은 다른 기능, 안전 연동 시 로봇의 의도하지 않은 동작을 방지하는 안전 연동 장치, LAN (Local Area Network) 에 연결된 독립 컨트롤러로 기계의 성능을 모니터링, 제어 및 기록할 수 있습니다. 마그나 트로나 7 (MAGNATRON7) 은 빠른 응답 시간과 정확성, 유연성, 간편한 사용자 인터페이스 등으로 반도체 프로세싱을 위한 탁월한 선택입니다. 기존 장비와 통합할 수 있는 기능이 있으며, "웨이퍼 '를 빠르고 정확하게 조작하고 처리할 수 있다. 모든 반도체 프로세싱 요구 사항을 충족하는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.