판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7 #293666637

BROOKS AUTOMATATION Magnatron 7은 반도체 및 MEMS 구성 프로세스에 대한 강력한 제어 및 자동화를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7은 HVM 및 R&D (Research/Development) 제작 과정에서 고급 모션 제어 기술을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 이동하고 배치합니다. Magnatron 7은 정밀 동작 제어, 직관적인 HMI, 확장 가능한 아키텍처, 프로세스 중심 소프트웨어 등을 결합하여 구성 및 제어가 용이한 완전 통합 장비입니다. MAGNATRON7의 정밀 동작 제어는 0.1 m 해상도의 2 개의 독립적 인 400mm GBBA 선형 모터를 기반으로합니다. 이러한 모터는 전체 처리 시스템 전체에서 웨이퍼 (wafer) 전송 슬레드를 정확하게 이동시키고, 동작 제어 알고리즘은 정확하고 반복 가능한 움직임을 보장하는 부드러운 동작을 제공합니다. 동작 장치 (Motion Unit) 는 독점 속도 및 가속 제어, 다양한 포지셔닝 센서로 더욱 강화됩니다. BROOKS AUTOMATION Magnatron 7에는 최적의 사용자 경험을 제공하기 위해 특별히 설계된 직관적인 HMI도 포함되어 있습니다. HMI에는 그래픽 사용자 인터페이스, 레시피 컨트롤, 제품 데이터베이스 등의 내장 도구, 사용자 정의 웨이퍼 처리 시퀀스 (custom wafer handling sequence) 생성을 위한 광범위한 툴셋이 포함되어 있습니다. 또한 BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7 은 대부분의 기존 DD (Direct-Drive) 스테이지 조작 시스템과 상호 작용하여 기존 시스템 구성 요소에 연결할 수 있습니다. 마그나트론 7 (Magnatron 7) 의 견고하고 확장 가능한 아키텍처를 통해 사용자는 애플리케이션 요구 사항에 따라 오퍼링을 사용자 정의할 수 있습니다. MAGNATRON7 구성 가능한 기능은 총 전송 썰매 수, 웨이퍼 방향, 웨이퍼 크기, 웨이퍼 처리 속도 및 로봇 제어를 포함합니다. 또한 프로세스 중심 소프트웨어 패키지 (process-centric software package) 를 지원하므로 여러 제품 유형과 프로덕션 프로세스에 대한 매개변수를 신속하게 구성하고 수정할 수 있습니다. Magnatron 7은 HVM 및 R&D 제작 프로세스에 이상적입니다. HVM 및 R&D 제작 프로세스는 기술, 유연성, 확장성을 결합하여 높은 혼합/대용량 생산 환경에 적합합니다. 강력한 모션 제어, 직관적인 HMI, 확장 가능한 아키텍처 및 프로세스 중심 소프트웨어를 갖춘 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7은 다양한 웨이퍼 처리 요구를 충족합니다.