판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON Magnatran #9286077
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브룩스 오토 마그나 트란 (BROOKS AUTOMATIC Magnatran) 은 자동화된 웨이퍼 핸들러로, 클린 룸 환경의 처리 단계 간에 자동 웨이퍼 전송을 보장합니다. 기계 는 여러 개 의 "웨이퍼 '를 수동 투입 하지 않고 자동적 으로 처리 하는 동작 장비 를 갖추고 있다. 그것 은" 클리어룸' 환경 내 에 안전 하게 이동 하여 배치 하기 위해서이다. 마그나 트란 (Magnatran) 은 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 25mm에서 300mm까지 많은 표준 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼를 조작하고 정렬 할 수있는 4 축 동작 시스템을 사용합니다. "와퍼 (wafer) '를 제자리에서 조정하고 잠그기 위한 통합형 클램프 (Clamp) 와" 다중 레벨 보호 제어 장치 (Multi-Level Protection Control Unit)' 를 통해 안전한 환경을 제공합니다. 또한 "웨이퍼 '는 두 방향 으로 움직 일 수 있으며, 따라서" 웨이퍼' 는 빠르고 효율적 으로 움직 일 수 있다. 광섬유 직사각형 캐비닛으로 제작된 BROOKS AUTOMATRAN 마그나 트란 (Magnatran) 은 스캐닝 장치 (옵션) 를 제공하여 사용자가 웨이퍼 조작 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 온도 안정성, 공기 오염 제어 및 이온화에 대한 Class 1000 청소 요구 사항을 충족하여 전송 내내 손상되지 않고 일관된 웨이퍼 제품 품질을 제공합니다. 마그나 트란 (Magnatran) 은 모션 제어 기능 외에도 모션 및 웨이퍼 로딩 프로세스에서 의미있는 데이터를 제공 할 수 있습니다. 여기에는 프로그래밍 가능한 동작 속도, 가속, 감속 및 저크 제한 설정과 같은 기능이 포함됩니다. 데이터 저장 용량의 경우, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 를 프로그래밍하여 여러 웨이퍼 핸들을 동시에 실행하거나 타이밍 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 또한 다른 wafer 관련 함수뿐만 아니라 wafer loading and unloading 프로세스도 제어할 수 있습니다. 유지 관리를 위해 BROOKS AUTOMITALMagnatran에는 자체 진단, 윤활 및 "핫 스왑 (hot swap)" 기능을 포함한 다양한 서비스 기능이 포함되어 있으며, 웨이퍼 핸들러가 여전히 사용 중입니다. 조정 가능한 예비 부품 (Spare Part) 을 손쉽게 액세스하여 더 빠른 수리를 가능하게 하며, 인증되지 않은 사용자가 변경하지 못하도록 변조 방지 (Tamper Proof Lock) 기능을 제공합니다. 마그나 트란 (Magnatran) 은 안전하고 편리한 방식으로 웨이퍼를 전송하는 안정적이고, 안전하며, 효율적인 방법을 제공합니다. 산업 등급 디자인, 다중 웨이퍼 처리 기능, 사용자 정의 가능한 모션 제어 기능을 갖춘 BROOKS AUTOMATRAN Magnatran은 모든 클린 룸 응용 프로그램을위한 완벽한 자동 웨이퍼 핸들러입니다.
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