판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON Magnatran #293649505
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브룩스 오토 마그나 트란 (BROOKS AUTOMITING Magnatran) 은 반도체 칩 생산에서 웨이퍼를 운송하고 조작하도록 설계된 세계 최고의 웨이퍼 핸들러입니다. 다른 프로세싱 스테이션 간에 "웨이퍼 (wafer)" 를 빠르고 정확하게 이동시켜 최적의 생산 효율성과 정밀도를 보장할 수 있습니다. Magnatran은 사전 정렬기, 전송 진공 모듈, 미니 전송 챔버, 엔드 이펙터, 프로세서 모듈, 다양한 센서 및 컨트롤러를 포함한 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 사전 정렬자 (pre-aligner) 는 웨이퍼를 전송 진공 (transfer vacuum) 에 안내하고 최종 이펙터로 전달되기 전에 미니 전송 챔버 (mini-transfer chamber) 에 정렬합니다. 전송 진공 모듈 (transfer vacuum module) 은 미니 전송 챔버 (mini-transfer chamber) 상단의 밸브를 열고 닫으며 웨이퍼를 전달하여 부드럽고 심지어 압력을 받도록 도와줍니다. 미니 트랜스퍼 챔버 (mini-transfer chamber) 는 챔버 환경을 완벽하게 제어하여 최적의 웨이퍼 조작을 위해 정확한 온도 및 압력을 유지할 수 있습니다. 엔드 이펙터 (End-effector) 는 실제로 웨이퍼 조작을 담당하며 강력한 액추에이터 및 정밀 정렬 센서가 장착되어 있습니다. 프로세서 모듈과 일제히 연동하여 픽 앤 플레이스 (pick-and-place), 전송 (transfer), 회전 (rotational) 및 선형 (linear) 이동과 같은 정확한 동작을 가능하게 합니다. 프로세서 모듈 (processor module) 은 전문 소프트웨어로 전체 작업을 제어하는 역할을 하며, 다양한 구성 요소와 프로세스를 손쉽게 통합할 수 있습니다. 브룩스 오토 마그나 트란 (BROOKS AUTOMATRAN) 마그나 트란 (Magnatran) 은 인코더 및 리미트 스위치 (limit switch) 등 다양한 안전 기능을 제공하는데, 이는 움직임을 감지 할 수 있으며 비상 사태의 경우 기계에 전원을 즉시 차단할 수 있습니다. 또한, 마그나 트란 (Magnatran) 은 유연성을 염두에 두고 설계되었으므로 모든 생산 라인에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 공장에는 작은 발자국이 있어 비좁은 생산 공장 (cramped production plant) 에 적합하며, 기존 자동화 시스템에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 고정밀도 및 빠른 작동으로 BROOKS AUTOMITALMagnatran은 모든 첨단 생산 라인의 필수 부분입니다.
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