판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7 #9167827

BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7은 공장 자동화 및 프로세스 통합을 위해 설계된 반도체 웨이퍼 핸들러입니다. MAG7은 카세트에서 카세트까지 균일하고 안정적인 웨이퍼 처리, 자동 웨이퍼 로딩, 철저한 진공 검증, 정확한 웨이퍼 배치, 안전한 웨이퍼 컨테이너 등을 제공하도록 설계되었습니다. MAG7에는 "3 축" 방식으로 작동하는 로봇 암이 있으며, 이는 광범위한 조작을 제공합니다. 팔은 고정 암 스탠치 온 (stationary arm stanchion) 에 연결되어 있으며, 안전한 기초를 제공하면서 팔을 "Z" 방향으로 움직일 수 있습니다. 팔 의 받침대 는 또한 조정 할 수 있는 수직 "리프트 '를 더 낮게 내리거나" 인체 공학적' 작용 을 위해 팔 을 올린다. MAG7 은 직관적인 메뉴 방식의 터치 패널 인터페이스를 통해 웨이퍼 (Wafer) 요리 책과 레시피 프로그램을 만들고 저장할 수 있습니다. 이를 통해 최소한의 노력으로 스테이션 사이에서 웨이퍼 로드를 쉽게 이동할 수 있습니다. 또한 [터치] 패널은 웨이퍼 배치 프로그램을 만들고 저장할 수 있는 기능을 제공하여, 웨이퍼 레시피를 구성할 때 유연성을 제공합니다. 안정성 향상을 위해 자동화된 웨이퍼 로딩 시스템은 적절한 웨이퍼 배치 및 방향을 보장합니다. MAG7 은 Wafer 슬롯의 무결성을 검증하고 최소한의 연산자 개입을 요구하는 인라인 (in-line) 진공 검증 시스템을 사용합니다. 프로세스 통합을 극대화하기 위해 MAG7 은 다양한 유형의 카세트 (cassette) 와 FOUP (FOUP) 를 포함한 여러 웨이퍼 캐리어와 호환되도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 이동 및/또는 청소가 필요한 모든 프로세스 장비 (예: 리소그래피, 에치) 와 통합 할 수 있습니다. 각 MAG7은 클래스 100-300 환경에서 쉽게 청소 할 수있는 고급 알루미늄으로 구성됩니다. 또한, MAG7 은 작업 중에 이벤트 전원이 손실되는 상황에서 고급 동적 보호 모니터링 (Dynamic Protection Monitoring) 지원을 제공합니다. Magnatran MAG7은 반도체 및 고급 웨이퍼 처리 어플리케이션에 뛰어난 성능과 가치를 제공합니다. 안정성이 높고 사용자 친화적인 설계를 통해 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 처리 및 처리 시스템에 원활하게 통합할 수 있습니다. 직관적인 터치 패널, 다용도 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 기능, 고급 오류 보호 기능을 갖춘 MAG7은 가장 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리 솔루션 중 하나입니다.