판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9398288
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BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 반도체 제작 프로세스의 효율성을 높이기 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 장비입니다. 45, 90 및 180도 방향을 포함한 다양한 구성에서 300mm, 200mm, 150mm 및 100mm 웨이퍼를 전송, 로드 및 언로드할 수 있습니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 또한 환경을 필터링하고 오염을 방지하는 통합 고급 입자 관리 시스템을 갖추고 있습니다. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 (BROOKS AUTOMATION Magnatran 7) 에는 사용자 친화적 그래픽 인터페이스가 포함되어 있어 작업을 빠르고 쉽게 구성하고 장치 상태를 모니터링할 수 있습니다. 또한 여러 통신 프로토콜이 포함되어 있어 인터페이스 어댑터가 필요 없이 다른 웨이퍼 (Wafer) 구성 장비와 통합할 수 있습니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 특허를받은 스플릿 모터 설계로 복잡성을 크게 줄이고 공간이 줄어들며 유연성이 뛰어납니다. 단단한 구성 및 정밀 정렬은 웨이퍼 처리를 개선하고 웨이퍼 손상을 최소화합니다. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 또한 완전히 밀봉 된 선형 및 피벗 베어링을 사용하여 부드러운 움직임과 조용한 작동을 수행합니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 안전한 운영자 액세스를 위한 잠금 가능한 안전 덮개 안전, 자동 과부하 감지 및 종료, 다중 연동 시스템 등 최적의 성능을 보장하는 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 원격 배기 연결, 내장 포트 및 필터 차단, 자동 청소 (Auto-Clean) 기계 (옵션) 및 자동 웨이퍼 방향 (Automated Wafer Orientation) 과 같이 사고 조작자가 유해 물질에 노출 될 위험을 줄이기 위해 여러 가지 기능으로 설계되었습니다. 브룩스 자동화 마그나 트란 7 (BROOKS AUTOMATATION Magnatran 7) 은 카세트 교환이 가능한 혁신적인 빠른 변경 카세트 형식을 사용하여 다운타임을 줄이고 시간을 낭비하도록 설계되었습니다. 또한 보충을 단순화하는 Autostock 기능도 포함되어 있습니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 설치 공간이 작으며 기존 반도체 제조 및 개발 프로세스에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 이 툴은 다양한 크기와 구성으로 제공되며, 반도체 제조 설비 (Many Semiconductor Fabrication Facility) 를 위한 완벽한 솔루션이 됩니다.
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