판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9276173

ID: 9276173
Wafer transfer robots For LAM System P/N: 003-1600-07.
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 반도체 제작, 조립, 테스트 등 다양한 애플리케이션의 고속, 정확도가 높은 재료 처리 요구를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 차세대 자동 웨이퍼 처리 장비는 비용 및 오염을 줄이면서 처리량을 증가시키도록 설계되었습니다. 이 시스템은 통합된 마이크로프로세서 제어 플랫폼으로 구동되며, 8 인치, 12 인치 및 그 이상의 모든 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 강력한 광학 인식 장치를 사용하여 방향을 포함한 웨이퍼 구성 요소를 높은 정확도로 정렬 할 수 있습니다. 통합 비전 머신 (Integrated Vision Machine) 은 웨이퍼 검사 및 품질 제어를 지원하는 결함을 감지하고 식별하도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 통합 자동 그리퍼 (auto-gripper) 를 갖추고 있으며, 이 도구는 다양한 웨이퍼 구성 요소 및 손잡이를 자동으로 조정합니다. 이를 통해 "웨이퍼 '의 다양한 구성 요소가 전송 과정에서 안전하고 단단히 처리되므로 오해 (mishandling) 의 위험이 줄어듭니다. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 Brushless DC 모터로 구동되는 3 축 플랫폼을 기반으로합니다. 이것은 정확한 위치 제어 및 정확성을 제공합니다. 에셋에는 레이저 높이 탐지 (laser height detection) 모델도 탑재되어 있어 컴포넌트의 높이와 위치를 정확하게 감지할 수 있으며, 정확도가 더욱 높아지고 오염을 막을 수 있습니다. 이 장비는 또한 강력한 진공 제어 시스템 (vacuum control system) 을 갖추고 있으며, 정확한 처리를 돕기 위해 흐름 속도와 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. Magnatran 7은 로봇 및 레거시 장비와 원활하게 작동하도록 설계되었습니다. 한· 중· 일 3 국은 한· 중· 일 3 국에 걸쳐선 안 된다. 또한 자동화된 자가 보정 (self-calibration) 기능과 자가 진단 (self-diagnostic) 기능을 통해 손쉬운 장애 감지, 예방 및 혁신적인 프로그래밍 툴을 통해 손쉽게 자동화 및 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 고속, 정확도가 높은 재료 처리 요구를 위해 설계된 다용도 자동 웨이퍼 처리 기계입니다. 통합 기능을 통해 정확한 위치 지정 (positioning), 구성요소 정렬, 장애 감지 및 예방이 가능합니다. 기존 설비에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되어 있어 자동화를 원활하게 수행할 수 있습니다 (영문).
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