판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9082680

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 (MT7) 은 생산 처리량 및 수율을 극대화하기 위해 설계된 고성능 자동 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 확장 된 웹 깊이와 현장 교체 가능한 웨이퍼 처리 기술을 제공합니다. 그 과정 에서 유연성 을 제공 하면서, "웨이퍼 '를 신속 하고 정확 하게 깊이 있는 처리" 시스템' 안 으로 이동 시키도록 설계 되었다. 이 장비는 특허를받은 회사의 로봇 웨이퍼 처리 솔루션 인 '마그나 트란 (Magnatran)' 기술을 기반으로합니다. 이 기술은 로봇 동작 (robotic motion), 웹 형상 (web geometry) 및 광학 제어 시스템 (optical control system) 의 조합을 사용하여 시스템을 통한 웨이퍼 이동을 추적합니다. MT7은 기본 프레임, 로봇 암, 웨이퍼 처리 회전 목마, 선형 모터 (웨이퍼 처리 회전 목마 이동), 광학 웨이퍼 감지, 웨이퍼 처리 창 및 터치 스크린 인터페이스로 구성됩니다. MT7 의 기본 프레임 (base frame) 은 장치의 다른 구성 요소에 대한 기계적 지원을 제공합니다. 여러 관절로 구성된 로봇 암 (robotic arm) 은 회전 목마 주변의 웨이퍼를 조종합니다. 회전 목마는 웨이퍼 (wafers) 가 쉬는 여러 선반으로 구성됩니다. 리니어 모터 (linear motor) 는 회전 목마의 움직임을 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝까지 제어하고 운전하는 데 사용됩니다. 최대 2 미터의 이동 범위를 가진 3 상 영구 자석 직접 구동 리니어 모터가 특징입니다. 이 "모우터 '를 이용 하여" 캐러셀' 은 "웨이퍼 '장전 장치 와 하역 장치 와 같은 기계 의 여러 지역 사이 를 이동 할 수 있다. "캐러셀 '내 에 있는 광학" 웨이퍼' 탐지 도구 는 자산 을 통과 할 때 "웨이퍼 '의 진전 에 대한" 피드백' 을 감시 하고 제공 해 준다. 이것은 광원과 카메라를 사용하여 달성됩니다. MT7 에는 웨이퍼 처리 창 (wafer handling window) 이 있습니다. 이 창은 캐러셀에서 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 데 매우 특화된 장치입니다. 그것 은 자동화 된 "커브 '로 된" 디자인' 으로 "캐러셀 '로부터" 웨이퍼' 를 당겨 필요 한 목적지 로 지나가는 진공 을 만들어 준다. 마지막으로 MT7에는 터치 스크린 사용자 인터페이스도 있습니다. 즉, 직관적이고 사용이 간편한 플랫폼을 통해 모델의 다양한 기능에 액세스하고 제어할 수 있습니다 (영문). Magnatran 7은 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 운송 수단을 제공합니다. 다양한 Wafer 처리 장비를 수용할 수 있는 유연성, 확장성, 다양한 기능을 제공합니다. 이 장비는 프로세스의 다양한 단계를 통해 "웨이퍼 (wafer) '가 빠르고 정확하게 움직이는 동시에 처리량 (throughput) 과 수율 (revield) 을 극대화하도록 설계되었습니다.